ບົດບາດຂອງລະບົບເຮັດຄວາມເຢັນໃນອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດ

ໃນລະບົບເຄືອບສູນຍາກາດ, ລະບົບເຮັດຄວາມເຢັນແມ່ນໜ່ວຍຊ່ວຍເຫຼືອທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້. ບໍ່ວ່າຈະເປັນຂະບວນການລະເຫີຍຄວາມຮ້ອນ, ການສະເປຣດແມກນີຕຣອນ, ຫຼື CVD, ສ່ວນປະກອບຂອງເປົ້າໝາຍ, ຊັ້ນຮອງພື້ນ, ແລະ ຫ້ອງຈະຖືກຄວາມຮ້ອນຢ່າງຮຸນແຮງພາຍໃຕ້ການຍິງຂອງລຳແສງພະລັງງານສູງ. ຖ້າບໍ່ມີການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນທີ່ມີປະສິດທິພາບ, ບໍ່ພຽງແຕ່ຄຸນນະພາບຂອງຟິມຈະຊຸດໂຊມລົງເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ຄວາມເສຍຫາຍຂອງອຸປະກອນ ແລະ ການຂັດຂວາງການຜະລິດຍັງສາມາດເກີດຂຶ້ນໄດ້ອີກດ້ວຍ.

I. ເປັນຫຍັງລະບົບການເຄືອບສູນຍາກາດຈຶ່ງຕ້ອງການຄວາມເຢັນ?

ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການເຄືອບ, ແຫຼ່ງຄວາມຮ້ອນຫຼັກລວມມີ:

ການຖິ້ມລະເບີດເປົ້າໝາຍ: ໃນການສະເປເຕີຣິງແມກນີຕຣອນ, ການຖິ້ມລະເບີດໄອອອນໃສ່ເປົ້າໝາຍສ້າງຄວາມຮ້ອນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.

ຄວາມຮ້ອນຂອງພລາສມາ: ພະລັງງານທີ່ປ່ອຍອອກມາໃນລະຫວ່າງການປ່ອຍພລາສມານຳໄປສູ່ຄວາມຮ້ອນພາຍໃນຫ້ອງ.

ຄວາມຮ້ອນຂອງພື້ນຜິວ: ພະລັງງານທີ່ຖືກໂອນໄປຫາຊິ້ນວຽກໃນລະຫວ່າງການວາງຟິມເຮັດໃຫ້ເກີດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ ຫຼື ການຜິດຮູບຂອງພື້ນຜິວ.

ການສູນເສຍປັ໊ມ ແລະ ພະລັງງານ: ປໍ້າພະລັງງານສູງ ແລະ ການສະໜອງພະລັງງານສ້າງພາລະຄວາມຮ້ອນເພີ່ມເຕີມ.

ຖ້າຄວາມຮ້ອນບໍ່ຫາຍໄປຕາມການເວລາ, ມັນສາມາດນໍາໄປສູ່:

ການເຕີບໂຕຂອງຟິມທີ່ມີຮູພຸນ, ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຟິມຫຼຸດລົງ.

ການຜິດຮູບຂອງພື້ນຜິວ ແລະ ການສູນເສຍຄວາມແມ່ນຍຳຂອງມິຕິ.

ການກັດເຊາະຂອງເປົ້າໝາຍຜິດປົກກະຕິ, ເຊິ່ງເລັ່ງການ “ໄໝ້” ຂອງເປົ້າໝາຍ.

ການເສື່ອມສະພາບຂອງປະທັບຕາພາຍໃນຫ້ອງ, ເຮັດໃຫ້ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງສູນຍາກາດຫຼຸດລົງ.

II. ຫຼັກການເຮັດວຽກຂອງລະບົບເຮັດຄວາມເຢັນ

ລະບົບການເຄືອບສູນຍາກາດໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວຈະໃຊ້ລະບົບລະບາຍຄວາມຮ້ອນດ້ວຍນ້ຳແບບວົງຈອນປິດ, ໃນຂະນະທີ່ອຸປະກອນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງບາງອັນຍັງລວມເອົາລະບົບລະບາຍຄວາມຮ້ອນນ້ຳມັນ ຫຼື ດັກຄຣີໂອເຈນິກເຂົ້າກັນ. ກົນໄກພື້ນຖານປະກອບມີ:

ການນຳຄວາມຮ້ອນ: ຄວາມຮ້ອນຖືກຖ່າຍໂອນຜ່ານແຜ່ນຮອງເປົ້າໝາຍ, ຕົວຍຶດຊັ້ນວາງ, ແລະ ເສື້ອກັນເຢັນ.

ການພາຄວາມຮ້ອນ: ນ້ຳຢາຫຼໍ່เย็นທີ່ໝູນວຽນຈະກຳຈັດຄວາມຮ້ອນອອກຈາກອົງປະກອບທີ່ມີຄວາມຮ້ອນ.

ການແລກປ່ຽນຄວາມຮ້ອນ: ແຜ່ນແລກປ່ຽນຄວາມຮ້ອນ ຫຼື ຫໍເຮັດຄວາມເຢັນຖ່າຍໂອນພາລະຄວາມຮ້ອນໄປສູ່ສະພາບແວດລ້ອມພາຍນອກ, ຮັບປະກັນການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ.

III. ບົດບາດຫຼັກຂອງລະບົບເຮັດຄວາມເຢັນm

ການຮັກສາຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາ
ອຸນຫະພູມທີ່ໝັ້ນຄົງຊ່ວຍປ້ອງກັນການເກີດຜລຶກທີ່ຜິດປົກກະຕິ ແລະ ການເລື່ອນແສງ, ຮັບປະກັນຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງຟິມ ແລະ ການຍຶດຕິດທີ່ແຂງແຮງ.

ການຂະຫຍາຍອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງອຸປະກອນ
ປົກປ້ອງຫ້ອງສູນຍາກາດ, ເປົ້າໝາຍແມກນີຕຣອນ, ແລະ ປະທັບຕາຈາກຄວາມເສຍຫາຍຈາກຄວາມຮ້ອນ.

ຮັບປະກັນຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳຂະບວນການ
ການເຮັດໃຫ້ເຢັນທີ່ໝັ້ນຄົງແມ່ນສິ່ງຈຳເປັນສຳລັບຄວາມສອດຄ່ອງແບບຊຸດຕໍ່ຊຸດ.

ສະໜັບສະໜູນຂະບວນການພະລັງງານສູງ
ສຳລັບຂະບວນການສະເປຣດເຕີຣິງແມກນີຕຣອນໃນພື້ນທີ່ຂະໜາດໃຫຍ່ ຫຼື ຂະບວນການ CVD ໄລຍະຍາວ, ການເຮັດໃຫ້ເຢັນແມ່ນພື້ນຖານສຳລັບການຜະລິດຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ.

IV. ສິ່ງຈຳເປັນສຳລັບການບຳລຸງຮັກສາ

ການຄຸ້ມຄອງຄຸນນະພາບນ້ຳ: ໃຊ້ນ້ຳທີ່ບໍ່ມີໄອອອນ (ນ້ຳ DI) ເພື່ອປ້ອງກັນການສະສົມຂອງຕະກອນ ແລະ ການປົນເປື້ອນຂອງໄອອອນ.

ການຕິດຕາມກວດກາການໄຫຼ ແລະ ຄວາມກົດດັນ: ຮັບປະກັນປະສິດທິພາບການເຮັດຄວາມເຢັນທີ່ພຽງພໍຢູ່ເປົ້າໝາຍ ແລະ ອຸປະກອນພື້ນຖານ.

ການເຮັດຄວາມສະອາດເຄື່ອງແລກປ່ຽນຄວາມຮ້ອນ: ຮັກສາປະສິດທິພາບການເຮັດຄວາມເຢັນໂດຍການປ້ອງກັນການອຸດຕັນຂອງອະນຸພາກ.

ການເຊື່ອມໂຍງການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ: ເຊື່ອມຕໍ່ກັບລະບົບ PLC ສຳລັບສັນຍານເຕືອນອຸນຫະພູມເກີນ ແລະ ການປ້ອງກັນການປິດອັດຕະໂນມັດ.

ສະຫຼຸບ

ໃນອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດ, ລະບົບເຮັດຄວາມເຢັນບໍ່ແມ່ນອຸປະກອນເສີມແຕ່ເປັນການປົກປ້ອງຫຼັກສຳລັບຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ, ຜົນຜະລິດຂອງຜະລິດຕະພັນ, ແລະ ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງອຸປະກອນ. ພຽງແຕ່ຜ່ານການອອກແບບການເຮັດຄວາມເຢັນທີ່ແຂງແຮງ ແລະ ການບຳລຸງຮັກສາທີ່ໄດ້ມາດຕະຖານເທົ່ານັ້ນທີ່ຂະບວນການວາງຊັ້ນພະລັງງານສູງສາມາດເຮັດວຽກພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມທີ່ຄວບຄຸມໄດ້, ສະໜອງຟິມບາງທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ.

— ບົດຄວາມນີ້ຖືກເຜີຍແຜ່ໂດຍອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ Zhenhua