Hauv ib qhoLub Tshuab Nqus Tsev Txheej Txheem, Lub Tshuab Txias yog ib qho chaw pabcuam tseem ceeb. Txawm hais tias nyob rau hauv Thermal Evaporation, Magnetron Sputtering, lossis CVD cov txheej txheem, lub hom phiaj, substrate, thiab cov khoom hauv chav raug rau cua sov hnyav nyob rau hauv lub zog siab beam bombardment. Yog tsis muaj kev tswj hwm thermal zoo, tsis yog tsuas yog qhov zoo ntawm zaj duab xis poob qis, tab sis cov khoom siv puas tsuaj thiab kev cuam tshuam kev tsim khoom kuj tuaj yeem tshwm sim.
I. Vim li cas cov tshuab nqus tsev thiaj xav tau cua txias?
Thaum lub sijhawm txheej txheem, cov cua sov tseem ceeb suav nrog:
Lub Hom Phiaj Bombardment: Hauv magnetron sputtering, ion bombardment ntawm lub hom phiaj tsim kom muaj cua sov ntau.
Kev Kub Plasma: Lub zog tso tawm thaum lub sijhawm tso tawm plasma ua rau muaj cua sov hauv zos hauv chav.
Kev Kub ntawm Cov Khoom Siv: Lub zog hloov mus rau qhov workpiece thaum lub sijhawm tso zaj duab xis ua rau muaj kev nthuav dav thermal lossis kev hloov pauv ntawm qhov chaw.
Kev Poob Fais Fab & Kev Poob Hwj Chim: Cov twj tso kua mis muaj zog thiab cov khoom siv fais fab tsim cov cua sov ntxiv.
Yog tias cua sov tsis ploj mus raws sijhawm, nws tuaj yeem ua rau:
Kev loj hlob ntawm zaj duab xis uas muaj qhov nqus tau, qhov ceev ntawm zaj duab xis txo qis.
Kev hloov pauv ntawm cov khoom siv thiab kev poob ntawm qhov tseeb.
Kev puas tsuaj ntawm lub hom phiaj tsis zoo li qub, ua rau lub hom phiaj "kub hnyiab" sai dua.
Kev puas tsuaj ntawm lub foob sab hauv lub chamber, ua rau lub tshuab nqus tsev tsis ruaj khov.
II. Txoj Cai Ua Haujlwm ntawm Cov Tshuab Txias
Cov txheej txheem nqus tsev feem ntau siv cov dej txias kaw, thaum qee cov khoom siv siab kuj suav nrog cov roj txias lossis cov cuab yeej cryogenic. Cov txheej txheem tseem ceeb suav nrog:
Kev coj ua: Kub raug xa mus los ntawm lub phaj thaub qab, lub substrate tuav, thiab lub tsho txias.
Convection: Cov dej txias uas ncig mus los tshem tawm cov cua sov ntawm cov khoom uas tau cua sov.
Kev Sib Pauv Kub: Cov phaj sib pauv kub lossis cov tsev txias hloov cov khoom siv thermal mus rau qhov chaw sab nraud, ua kom muaj kev tswj hwm kub tas mus li.
III. Lub Luag Haujlwm Tseem Ceeb ntawm Lub Tshuab Txiasm
Tswj Xyuas Qhov Zoo ntawm Zaj Duab Xis
Kub ruaj khov tiv thaiv kev siv crystallization tsis zoo thiab kev hloov pauv optical, ua kom cov yeeb yaj kiab sib xws thiab muaj zog lo.
Kev Siv Khoom Siv Ntev Mus Ib Txhis
Tiv thaiv cov chambers nqus tsev, cov hom phiaj magnetron, thiab cov foob los ntawm kev puas tsuaj thermal.
Xyuas kom meej tias cov txheej txheem rov ua dua
Kev txias ruaj khov yog qhov tseem ceeb rau kev sib xws ntawm ib pawg mus rau ib pawg.
Txhawb Nqa Cov Txheej Txheem Muaj Zog Siab
Rau thaj chaw loj magnetron sputtering lossis cov txheej txheem CVD ntev, kev txias yog lub hauv paus rau kev tsim khoom tsis tu ncua.
IV. Cov Kev Pabcuam Tseem Ceeb
Kev Tswj Xyuas Dej Zoo: Siv dej deionized (DI dej) los tiv thaiv kev sib sau ua ke thiab kev ua qias tuaj ntawm ionic.
Kev Saib Xyuas Kev Nqus Dej & Kev Siab: Xyuas kom muaj kev ua haujlwm txias txaus ntawm cov hom phiaj thiab cov khoom siv hauv qab.
Kev Ntxuav Lub Tshuab Hloov Kub: Tswj kev ua kom txias los ntawm kev tiv thaiv cov khoom me me.
Kev Tswj Kub thiab Txias: Txuas nrog PLC systems rau kev ceeb toom kub dhau thiab kev tiv thaiv kaw tsis siv neeg.
Xaus lus
Hauv cov khoom siv nqus tsev, lub tshuab cua txias tsis yog ib qho khoom siv ntxiv tab sis yog ib qho kev tiv thaiv tseem ceeb rau kev ruaj khov ntawm cov txheej txheem, cov khoom tsim tau, thiab lub neej ntev ntawm cov khoom siv. Tsuas yog los ntawm kev tsim kom txias zoo thiab kev saib xyuas raws li tus qauv xwb thiaj li ua tau cov txheej txheem tso tawm hluav taws xob siab ua haujlwm tau hauv qab qhov kub thiab txias, thiab xa cov zaj duab xis nyias zoo.
— Tsab xov xwm no tau luam tawm los ntawmcov khoom siv nqus tsev txheejChaw tsim khoom Zhenhua Lub Tshuab Nqus Tsev
Lub sijhawm tshaj tawm: Cuaj hlis-10-2025