רובֿ כעמישע עלעמענטן קענען ווערן פארדאַמפּט דורך זיי צו קאָמבינירן מיט כעמישע גרופּעס, למשל Si רעאַגירט מיט H צו פאָרמירן SiH4, און Al קאָמבינירט זיך מיט CH3 צו פאָרמירן Al(CH3). אין דעם טערמישן CVD פּראָצעס, אַבזאָרבירן די אויבן דערמאָנטע גאַזן אַ געוויסע מאָס טערמישע ענערגיע ווען זיי גייען דורך דעם באַהייצטן סאַבסטראַט און פאָרמירן רעאַקטיווע גרופּעס, ווי CH3 און AL(CH3)2, אאז"וו. זיי קאָמבינירן זיך דערנאָך איינער מיטן אַנדערן צו פאָרמירן די רעאַקטיווע גרופּעס, וואָס ווערן דערנאָך אָפּגעלייגט אויף דעם סאַבסטראַט. דערנאָך קאָמבינירן זיי זיך איינער מיטן אַנדערן און ווערן אָפּגעלייגט ווי דינע פילמען. אין פאַל פון PECVD, די קאָליזיע פון עלעקטראָנען, ענערגעטישע פּאַרטיקלען און גאַז-פאַזע מאָלעקולן אין דער פּלאַזמע גיט די אַקטיוואַציע ענערגיע וואָס איז נויטיק צו פאָרמירן די רעאַקטיווע כעמישע גרופּעס.
די מעלות פון PECVD זענען בעיקר אין די פאלגנדע אספעקטן:
(1) נידעריקערע פּראָצעס טעמפּעראַטור קאַמפּערד צו קאַנווענשאַנאַל כעמישער פארע דעפּאַזישאַן, וואָס איז דער הויפּט רעכט צו פּלאַזמע אַקטיווירונג פון רעאַקטיוו פּאַרטיקאַלז אַנשטאָט קאַנווענשאַנאַל היץ אַקטיווירונג;
(2) די זעלבע ווי קאַנווענשאַנאַל CVD, גוטע אַרומוויקלען פּלייטינג פון די פילם שיכט;
(3) די צוזאמענשטעלונג פון דער פילם שיכט קען קאנטראלירט ווערן ארביטרעריש צו א גרויסן מאס, מאכנדיג עס גרינג צו באקומען מער-שיכטיקע פילמען;
(4) פילם דרוק קען קאנטראלירט ווערן דורך הויך/נידעריק פרעקווענץ מיש טעכנאלאגיע.
–דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן דורךוואַקוום קאָוטינג מאַשין פאַבריקאַנטגואַנגדאָנג זשענהואַ
פּאָסט צייט: 18טן אַפּריל 2024