דירעקטע יאָן שטראַל דעפּאָזיציע איז אַ טיפּ פון יאָן שטראַל אַסיסטירט דעפּאָזיציע. די דירעקטע יאָן שטראַל דעפּאָזיציע איז אַ ניט-מאַסע-געטיילטע יאָן שטראַל דעפּאָזיציע. די טעכניק איז ערשטער געניצט צו פּראָדוצירן דימענט-ווי קאַרבאָן פילמען אין 1971, באַזירט אויף דעם פּרינציפּ אַז דער הויפּט טייל פון די קאַטאָדע און אַנאָדע פון די יאָן מקור איז געמאכט פון קאַרבאָן.
דער סענסיבל גאז ווערט געפירט אין דער אויסלאדונג קאמער, און אן עקסטערנער מאגנעטישער פעלד ווערט צוגעגעבן צו פאראורזאכן א פלאזמע אויסלאדונג אונטער נידריגע דרוק באדינגונגען, פארלאזנדיג זיך אויף דעם שפריצעריי עפעקט פון די יאנען אויף די עלעקטראדן צו פראדוצירן קוילן-יאנען. קוילן-יאנען און געדיכטע יאנען אין דער פלאזמע זענען אינדוצירט געווארן אין דער דעפאזיציע קאמער אין דער זעלבער צייט, און זיי זענען פארשנעלערט געווארן צו ווערן אינדזשעקטירט אויף דעם סובסטראט צוליב דעם נעגאטיווער בייעס דרוק אויף דעם סובסטראט.
די טעסט רעזולטאַטן ווייַזן אַז די טשאַד יאָנען מיט דער ענערגיע פון 50~100eV בייצימערטעמפּעראַטור, אין Si, NaCI, KCI, Ni און אַנדערע סאַבסטראַטן אויף דער צוגרייטונג פון טראַנספּאַרענט דימענט-ווי טשאַד פילם, קעגנשטעל ווי הויך ווי 10Q-cm, רעפראַקטיוו אינדעקס פון וועגן 2, נישט סאַליאַבאַל אין ינאָרגאַניק און אָרגאַניק אַסאַדז, האָבן אַ זייער הויך כאַרדנאַס.
——דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן דורךוואַקוום קאָוטינג מאַשין פאַבריקאַנטגואַנגדאָנג זשענהואַ
פּאָסט צייט: 31סטן אויגוסט, 2023