וואַקוום קאָוטינג עקוויפּמענט איז טיפּיש צוזאַמענגעשטעלט פון עטלעכע שליסל קאָמפּאָנענטן, יעדער מיט זיין אייגענע ספּעציפֿישע פֿונקציע, וואָס אַרבעטן צוזאַמען צו דערגרייכן עפֿעקטיווע, איינהייטלעכע פֿילם דעפּאָזיציע. אונטן איז אַ באַשרייַבונג פון די הויפּט קאָמפּאָנענטן און זייערע פֿונקציעס:
הויפּט קאָמפּאָנענטן
וואַקוום קאַמער:
פונקציע: גיט א נידעריק-דרוק אדער הויך-וואקוום סביבה צו פאַרהיטן די קאָוטינג מאַטעריאַל פון רעאַגירן מיט לופט-געטראָגענע ימפּיוראַטיז בעשאַס פארדאַמפּונג אָדער ספּאַטערינג, וואָס ענשורז די ריינקייט און קוואַליטעט פון די פילם.
סטרוקטור: געוויינטלעך געמאכט פון הויך-שטאַרקייט, ומבאַפלעקט שטאָל אָדער אַלומינום, די ינערלעך פּלאַן נעמט אין חשבון לופט לויפן פאַרשפּרייטונג און גרינגקייט פון סאַבסטראַט פּלייסמאַנט.
וואַקוום פּאָמפּע סיסטעם:
פונקציע: גענוצט צו ארויספאמפן דעם גאז אינעווייניק פון דער וואקיום קאמער כדי צו דערגרייכן דעם פארלאנגטן וואקיום לעוועל.
טיפן: אריינגערעכנט מעכאנישע פּאָמפּעס (למשל ראָטאַרי וויין פּאָמפּעס), טורבאָמאָלעקולאַרע פּאָמפּעס, דיפוזיע פּאָמפּעס און יאָן פּאָמפּעס.
פארדאַמפּונג מקור אדער שפּריצן מקור:
פונקציע: הייצט און פארדאַמפּט דעם קאָוטינג מאַטעריאַל צו שאַפֿן אַ פארע אָדער פּלאַזמע אין אַ וואַקוום.
טיפן: אריינגערעכנט קעגנשטעל-הייצונג מקור, עלעקטראן שטראל פארדאַמפּונג מקור, מאַגנעטראָן ספּאַטערינג מקור און לאַזער פארדאַמפּונג מקור, אאז"ו ו.
סאַבסטראַט האָלדער און ראָטייטינג מעקאַניזאַם:
פונקציע: האַלט דעם סאַבסטראַט און זיכערט אַ גלייכמעסיקע אָפּלייגונג פון דעם קאָוטינג מאַטעריאַל אויף דער ייבערפלאַך פון דעם סאַבסטראַט דורך ראָטאַציע אָדער אָסצילאַציע.
קאנסטרוקציע: טיפיש אריינגערעכנט אַדזשאַסטאַבאַל קלאַמפּס און ראָטייטינג/אָסצילייטינג מעקאַניזאַמז צו אַקאַמאַדירן סאַבסטראַטן פון פאַרשידענע פֿאָרמען און סיזעס.
מאַכט צושטעלן און קאָנטראָל סיסטעם:
פונקציע: גיט מאַכט צו די פארדאַמפּונג מקור, ספּאַטערינג מקור און אנדערע ויסריכט, און קאָנטראָלירט פּאַראַמעטערס פון די קוילעלדיק קאָוטינג פּראָצעס אַזאַ ווי טעמפּעראַטור, וואַקוום און צייט.
קאָמפּאָנענטן: כולל מאַכט סאַפּלייז, קאָנטראָל פּאַנאַלז, קאָמפּיוטערייזד קאָנטראָל סיסטעמען און מאָניטאָרינג סענסאָרס.
גאז צושטעל סיסטעם (פֿאַר שפּוטער קאָוטינג עקוויפּמענט):
פונקציע: צושטעלט אינערטע גאזן (למשל, אַרגאָן) אדער רעאַקטיווע גאזן (למשל, זויערשטאָף, שטיקשטאָף) צו האַלטן אַ פּלאַזמע אדער צו אָנטייל נעמען אין אַ כעמישער רעאַקציע צו שאַפֿן אַ ספּעציפֿישן דין פֿילם.
קאָמפּאָנענטן: כולל גאַז צילינדערס, פלוס קאָנטראָולערס, און גאַז צושטעל רערן.
קיל סיסטעם:
פונקציע: קילט די פארדאַמפּונג מקור, ספּאַטערינג מקור און וואַקוום קאַמער צו פאַרמייַדן איבערהיצונג.
טיפן: אריינרעכענען וואסער קיל סיסטעמען און לופט קיל סיסטעמען, א.א.וו.
מאָניטאָרינג און דעטעקציע סיסטעם:
פונקציע: רעאַל-צייט מאָניטאָרינג פון שליסל פּאַראַמעטערס אין די קאָוטינג פּראָצעס, אַזאַ ווי פילם גרעב, דעפּאַזישאַן קורס, וואַקוום און טעמפּעראַטור, צו ענשור קאָוטינג קוואַליטעט.
טיפן: אריינגערעכנט קוואַרץ קריסטאַל מיקראָבאַלאַנס, אָפּטיש גרעב מאָניטאָר און רעזידועל גאַז אַנאַליזער, עטק.
שוץ־מיטלען:
פונקציע: זיכערט די זיכערהייט פון אָפּעראַטאָרן און ויסריכט פון געפאַרן געפֿירט דורך הויך טעמפּעראַטורן, הויך וואָולטידזש אָדער וואַקוום סביבות.
קאָמפּאָנענטן: כולל גאַרדס, נויטפאַל סטאָפּ קנעפּלעך און זיכערהייט ינטערלאָקקס, אאז"ו ו.
צוזאמענפאסן.
וואַקוום קאָוטינג עקוויפּמענט רעאַליזירט דעם פּראָצעס פון דעפּאָזיטירן הויך-קוואַליטעט דין פילמען דורך די סינערגיסטישע אַרבעט פון די קאָמפּאָנענטן. די מאַשינען שפּילן אַ וויכטיקע ראָלע אין דער צוגרייטונג פון אָפּטישע, עלעקטראָנישע, דעקאָראַטיווע און פאַנגקשאַנאַלע דין פילמען.
–דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן דורךוואַקוום קאָוטינג מאַשין פאַבריקאַנטגואַנגדאָנג זשענהואַ
פּאָסט צייט: 23סטן יולי 2024