Các nguồn ô nhiễm của thiết bị phủ chân không là gì?

Cácthiết bị phủ chân khôngđược cấu thành từ nhiều chi tiết chính xác, được tạo ra thông qua nhiều quy trình như hàn, mài, tiện, bào, khoan, phay, v.v. Do những công việc này, bề mặt các bộ phận thiết bị chắc chắn sẽ bị nhiễm một số chất gây ô nhiễm như mỡ, bụi dầu, vụn kim loại, thuốc hàn, kem đánh bóng, vết mồ hôi, v.v. Những chất gây ô nhiễm này dễ bay hơi trong điều kiện chân không, do đó ảnh hưởng đến độ chân không cuối cùng của thiết bị.

Ngoài ra, các chất ô nhiễm chân không từ quá trình gia công cơ học này hấp thụ một lượng lớn khí trong môi trường áp suất khí quyển và trong trạng thái chân không, các khí đã hấp thụ trước đó này cũng sẽ được giải phóng trở lại, trở thành yếu tố chính hạn chế giới hạn chân không. Vì lý do này, các chất ô nhiễm phải được loại bỏ trước khi lắp ráp các bộ phận của máy phủ chân không.

Trong quá trình sử dụng thiết bị chân không, các thành phần của nó cũng sẽ bị ô nhiễm. Tuy nhiên, ô nhiễm từ nguồn này chủ yếu là do điều kiện sử dụng và máy bơm chân không.

1. Sự bay hơi của sợi đốt của máy đo chân không trong điều kiện nhiệt độ cao sẽ dẫn đến việc hình thành một lớp màng trên lớp cách điện bằng gốm, điều này sẽ làm giảm độ bền cách điện của nó ở một mức độ nhất định và cũng có tác động nhất định đến độ chính xác của phép đo;

2. Do sự bay hơi ở nhiệt độ cao, một lớp màng kim loại sẽ được hình thành trên bề mặt gần dây tóc của súng electron trong chân không;

3. Do quá trình bắn phá phôi, thành bên trong của thiết bị khắc chùm ion sẽ bị nhiễm bẩn do các tia bắn ra;

4. Thành bên trong của thiết bị phủ bay hơi chân không sẽ bị nhiễm bẩn bởi vật liệu mục tiêu bay hơi;

5. Hệ thống sấy chân không thường được sử dụng và hệ thống sẽ bị ô nhiễm bởi các chất bay hơi;

6. Dầu bơm khuếch tán và dầu bơm cơ học trong thiết bị phủ chân không cũng là nguồn ô nhiễm chính, sau khi máy phủ hoạt động trong thời gian dài, bên trong thiết bị có thể hình thành màng dầu.

Tóm lại, vệ sinh chân không của thiết bị liên quan đến thiết bị chân không, hệ thống chân không, sản xuất quy trình chân không và các khía cạnh và liên kết khác, cũng như các yêu cầu của bản thân thiết bị phủ chân không và quy trình chân không đặc biệt về điều kiện sử dụng. Do đó, ô nhiễm chân không là một vấn đề đáng chú ý, vì những ô nhiễm này sẽ ảnh hưởng đến hiệu suất của thiết bị và cần chú ý vệ sinh thường xuyên hoặc bất cứ lúc nào.