Hầu hết các nguyên tố hóa học có thể được bốc hơi bằng cách kết hợp chúng với các nhóm hóa học, ví dụ Si phản ứng với H để tạo thành SiH4 và Al kết hợp với CH3 để tạo thành Al(CH3). Trong quá trình CVD nhiệt, các khí trên hấp thụ một lượng năng lượng nhiệt nhất định khi chúng đi qua chất nền được nung nóng và tạo thành các nhóm phản ứng, chẳng hạn như CH3 và AL(CH3)2, v.v. Sau đó, chúng kết hợp với nhau để tạo thành các nhóm phản ứng, sau đó được lắng đọng trên chất nền. Sau đó, chúng kết hợp với nhau và được lắng đọng dưới dạng màng mỏng. Trong trường hợp PECVD, sự va chạm của các electron, các hạt năng lượng và các phân tử pha khí trong plasma cung cấp năng lượng hoạt hóa cần thiết để hình thành các nhóm hóa học phản ứng này.
Ưu điểm của PECVD chủ yếu nằm ở các khía cạnh sau:
(1) Nhiệt độ quy trình thấp hơn so với lắng đọng hơi hóa học thông thường, chủ yếu là do hoạt hóa plasma của các hạt phản ứng thay vì hoạt hóa nhiệt thông thường;
(2) Giống như CVD thông thường, lớp màng được mạ bao quanh tốt;
(3) Thành phần của lớp màng có thể được kiểm soát tùy ý ở mức độ lớn, giúp dễ dàng thu được màng nhiều lớp;
(4) Ứng suất màng có thể được kiểm soát bằng công nghệ trộn tần số cao/thấp.
– Bài viết này được phát hành bởinhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng: 18-04-2024