Hệ số nhiệt độ điện trở của màng kim loại thay đổi theo độ dày của màng, màng mỏng là âm, màng dày là dương và màng dày hơn tương tự nhưng không giống hệt với vật liệu khối. Nhìn chung, hệ số nhiệt độ điện trở của điện trở thay đổi từ âm sang dương khi độ dày màng tăng lên đến hàng chục nanomet.
Ngoài ra, tốc độ bay hơi cũng ảnh hưởng đến hệ số nhiệt điện trở của màng kim loại. Tốc độ bay hơi thấp do lớp màng tạo ra là lỏng lẻo, các electron trên hàng rào thế của nó và khả năng tạo ra độ dẫn điện yếu, kết hợp với quá trình oxy hóa và hấp phụ, do đó giá trị điện trở cao, hệ số nhiệt điện trở nhỏ hoặc thậm chí là âm, với sự gia tăng tốc độ bay hơi, hệ số nhiệt điện trở của điện trở thay đổi nhỏ từ lớn, từ âm sang dương. Điều này là do tốc độ bay hơi thấp của màng được tạo ra do quá trình oxy hóa các tính chất bán dẫn, hệ số nhiệt điện trở có giá trị âm. Các màng được tạo ra ở tốc độ bay hơi cao có xu hướng có tính chất kim loại và có hệ số nhiệt điện trở dương.
Vì cấu trúc của màng thay đổi không thể đảo ngược theo nhiệt độ, nên điện trở và hệ số nhiệt độ điện trở của màng cũng thay đổi theo nhiệt độ của lớp phủ trong quá trình bay hơi, và màng càng mỏng thì sự thay đổi càng mạnh. Điều này có thể được coi là kết quả của những thay đổi về mặt hóa học do sự bốc hơi lại và phân phối lại các hạt của màng cấu trúc đảo hoặc ống xấp xỉ trên chất nền, cũng như sự tán xạ mạng tinh thể, sự tán xạ tạp chất, sự tán xạ các khuyết tật mạng tinh thể và quá trình oxy hóa.
– Bài viết này được phát hành bởisản xuất máy phủ chân khôngr Quảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng: 18-01-2024