Lắng đọng chùm ion trực tiếp là một loại lắng đọng chùm ion hỗ trợ. Lắng đọng chùm ion trực tiếp là lắng đọng chùm ion không tách khối. Kỹ thuật này lần đầu tiên được sử dụng để sản xuất màng carbon giống kim cương vào năm 1971, dựa trên nguyên tắc rằng phần chính của catốt và anode của nguồn ion được làm bằng carbon.
Khí nhạy được dẫn vào buồng xả, và một từ trường bên ngoài được thêm vào để gây ra sự phóng điện plasma trong điều kiện áp suất thấp, dựa vào hiệu ứng phun của các ion trên các điện cực để tạo ra các ion cacbon. Các ion cacbon và các ion đặc trong plasma được đưa vào buồng lắng đọng cùng lúc, và chúng được tăng tốc để được phun vào chất nền do áp suất lệch âm trên chất nền.
Kết quả thử nghiệm cho thấy các ion cacbon có năng lượng 50~100eV tạiphòngNhiệt độ, trong Si, NaCl, KCl, Ni và các chất nền khác trên quá trình chế tạo màng cacbon trong suốt giống kim cương, điện trở suất cao tới 10Q-cm, chiết suất khoảng 2, không tan trong axit vô cơ và hữu cơ, có độ cứng rất cao.
——Bài viết này được phát hành bởinhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng: 31-08-2023