Thiết bị phủ chân không thường bao gồm một số thành phần chính, mỗi thành phần có chức năng riêng, hoạt động phối hợp để đạt được quá trình lắng đọng màng đồng đều, hiệu quả. Dưới đây là mô tả về các thành phần chính và chức năng của chúng:
Thành phần chính
Buồng chân không:
Chức năng: Cung cấp môi trường áp suất thấp hoặc chân không cao để ngăn vật liệu phủ phản ứng với tạp chất trong không khí trong quá trình bay hơi hoặc phun, đảm bảo độ tinh khiết và chất lượng của màng phủ.
Cấu trúc: Thường được làm bằng thép không gỉ hoặc nhôm có độ bền cao, thiết kế bên trong tính đến khả năng phân phối luồng không khí và dễ dàng đặt đế.
Hệ thống bơm chân không:
Chức năng: Dùng để bơm khí bên trong buồng chân không để đạt được mức chân không cần thiết.
Các loại: Bao gồm bơm cơ học (ví dụ bơm cánh gạt quay), bơm phân tử tuabin, bơm khuếch tán và bơm ion.
Nguồn bốc hơi hoặc nguồn bắn phá:
Chức năng: làm nóng và bốc hơi vật liệu phủ để tạo thành hơi hoặc plasma trong chân không.
Các loại: bao gồm nguồn nhiệt điện trở, nguồn bốc hơi chùm electron, nguồn phun magnetron và nguồn bốc hơi laser, v.v.
Giá đỡ chất nền và cơ chế quay:
Chức năng: Giữ chặt chất nền và đảm bảo vật liệu phủ được phủ đều trên bề mặt chất nền bằng cách quay hoặc dao động.
CẤU TẠO: Thông thường bao gồm kẹp có thể điều chỉnh và cơ chế quay/dao động để phù hợp với các chất nền có hình dạng và kích thước khác nhau.
Hệ thống cung cấp điện và điều khiển:
Chức năng: Cung cấp năng lượng cho nguồn bay hơi, nguồn phun và các thiết bị khác, đồng thời kiểm soát các thông số của toàn bộ quá trình phủ như nhiệt độ, chân không và thời gian.
Thành phần: Bao gồm nguồn điện, bảng điều khiển, hệ thống điều khiển bằng máy tính và cảm biến giám sát.
Hệ thống cung cấp khí (cho thiết bị phun phủ):
Chức năng: Cung cấp khí trơ (ví dụ: argon) hoặc khí phản ứng (ví dụ: oxy, nitơ) để duy trì trạng thái plasma hoặc tham gia phản ứng hóa học để tạo ra lớp màng mỏng cụ thể.
Các thành phần: Bao gồm bình khí, bộ điều khiển lưu lượng và đường ống dẫn khí.
Hệ thống làm mát:
Chức năng: làm mát nguồn bay hơi, nguồn bắn phá và buồng chân không để tránh quá nhiệt.
Các loại: bao gồm hệ thống làm mát bằng nước và hệ thống làm mát bằng không khí, v.v.
Hệ thống giám sát và phát hiện:
Chức năng: Theo dõi thời gian thực các thông số chính trong quá trình phủ, chẳng hạn như độ dày màng phủ, tốc độ lắng đọng, chân không và nhiệt độ, để đảm bảo chất lượng phủ.
Các loại: bao gồm cân vi tinh thể thạch anh, máy theo dõi độ dày quang học và máy phân tích khí dư, v.v.
Thiết bị bảo vệ:
Chức năng: Đảm bảo an toàn cho người vận hành và thiết bị khỏi các mối nguy hiểm do nhiệt độ cao, điện áp cao hoặc môi trường chân không gây ra.
Các thành phần: Bao gồm các thanh chắn, nút dừng khẩn cấp và khóa liên động an toàn, v.v.
Tóm tắt.
Thiết bị phủ chân không thực hiện quá trình lắng đọng màng mỏng chất lượng cao thông qua hoạt động hiệp đồng của các thành phần này. Những máy này đóng vai trò quan trọng trong việc chuẩn bị màng mỏng quang học, điện tử, trang trí và chức năng.
– Bài viết này được phát hành bởinhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng: 23-07-2024