To'g'ridan-to'g'ri ion nurlarini cho'ktirish - bu ion nurlari yordamida yotqizishning bir turi. To'g'ridan-to'g'ri ion nurlarining cho'kishi - massadan ajratilmagan ion nurlarining cho'kishi. Ushbu usul birinchi marta 1971 yilda olmosga o'xshash uglerod plyonkalarini ishlab chiqarish uchun ishlatilgan, ion manbasining katodi va anodining asosiy qismi ugleroddan iborat bo'lgan printsipga asoslanadi.
Oqilona gaz tushirish kamerasiga olib boriladi va uglerod ionlarini ishlab chiqarish uchun ionlarning elektrodlarga chayqalish ta'siriga tayanib, past bosim sharoitida plazma zaryadini keltirib chiqarish uchun tashqi magnit maydon qo'shiladi. Plazmadagi uglerod ionlari va zich ionlar bir vaqtning o'zida cho'kma kamerasiga kiritildi va ular substratga salbiy bosim bosimi tufayli substratga AOK qilish uchun tezlashdi.
Sinov natijalari shuni ko'rsatadiki, uglerod ionlari 50 ~ 100eV energiyaga egaxonaharorat, Si, NaCI, KCI, Ni va shaffof olmosga o'xshash uglerod plyonkasini tayyorlash bo'yicha boshqa substratlarda, qarshilik 10Q-sm gacha, sinishi indeksi taxminan 2, noorganik va organik kislotalarda erimaydigan, juda yuqori qattiqlikka ega.
——Ushbu maqola chop etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Yuborilgan vaqt: 2023-yil 31-avgust