Vakuumli qoplama uskunalari odatda bir nechta asosiy komponentlardan iborat bo'lib, ularning har biri o'ziga xos funktsiyaga ega bo'lib, ular samarali, bir xil plyonka cho'kishiga erishish uchun birgalikda ishlaydi. Quyida asosiy komponentlar va ularning funktsiyalari tavsifi keltirilgan:
Asosiy komponentlar
Vakuum kamerasi:
Funktsiya: bug'lanish yoki püskürtme paytida qoplama materialining havodagi aralashmalar bilan reaksiyaga kirishishini oldini olish uchun past bosimli yoki yuqori vakuumli muhitni ta'minlaydi, plyonkaning tozaligi va sifatini ta'minlaydi.
Tuzilishi: Odatda yuqori quvvatli, zanglamaydigan po'latdan yoki alyuminiydan tayyorlangan ichki dizayn havo oqimining taqsimlanishi va substratni joylashtirish qulayligini hisobga oladi.
Vakuum nasos tizimi:
Funktsiya: kerakli vakuum darajasiga erishish uchun vakuum kamerasi ichidagi gazni chiqarish uchun ishlatiladi.
Turlari: Mexanik nasoslar (masalan, aylanuvchi qanotli nasoslar), turbomolekulyar nasoslar, diffuziya nasoslari va ion nasoslari.
Bug'lanish manbai yoki chayqalish manbai:
Funktsiya: vakuumda bug 'yoki plazma hosil qilish uchun qoplama materialini isitadi va bug'laydi.
Turlari: qarshilik isitish manbai, elektron nurli bug'lanish manbai, magnetronli püskürtme manbai va lazer bug'lanish manbai va boshqalar.
Substrat ushlagichi va aylanish mexanizmi:
Funktsiya: Substratni ushlab turadi va qoplama materialining aylanish yoki tebranish orqali substrat yuzasiga bir xilda yotqizilishini ta'minlaydi.
QURILISH: Odatda turli shakl va o'lchamdagi tagliklarni joylashtirish uchun sozlanishi qisqichlar va aylanadigan / tebranish mexanizmlarini o'z ichiga oladi.
Elektr ta'minoti va nazorat qilish tizimi:
Funktsiya: bug'lanish manbasini, purkash manbasini va boshqa jihozlarni quvvat bilan ta'minlaydi va harorat, vakuum va vaqt kabi umumiy qoplama jarayonining parametrlarini nazorat qiladi.
Komponentlar: quvvat manbalari, boshqaruv panellari, kompyuterlashtirilgan boshqaruv tizimlari va monitoring sensorlarini o'z ichiga oladi.
Gaz ta'minoti tizimi (to'lqinli qoplama uskunalari uchun):
Funktsiyasi: Plazmani ushlab turish yoki o'ziga xos nozik plyonka hosil qilish uchun kimyoviy reaktsiyada ishtirok etish uchun inert gazlar (masalan, argon) yoki reaktiv gazlar (masalan, kislorod, azot) bilan ta'minlaydi.
Komponentlar: gaz ballonlari, oqim regulyatorlari va gaz etkazib berish quvurlarini o'z ichiga oladi.
Sovutish tizimi:
Funktsiya: haddan tashqari qizib ketishning oldini olish uchun bug'lanish manbasini, purkash manbasini va vakuum kamerasini sovutadi.
Turlari: suv sovutish tizimlari va havo sovutish tizimlari va boshqalarni o'z ichiga oladi.
Monitoring va aniqlash tizimi:
Funktsiya: qoplama sifatini ta'minlash uchun plyonka qalinligi, cho'kma tezligi, vakuum va harorat kabi qoplama jarayonida asosiy parametrlarni real vaqtda monitoring qilish.
Turlari: kvarts kristalli mikrobalans, optik qalinlik monitori va qoldiq gaz analizatori va boshqalar.
Himoya asboblari:
Funktsiya: Operatorlar va uskunalarning yuqori harorat, yuqori kuchlanish yoki vakuum muhiti ta'siridan kelib chiqadigan xavf-xatarlardan xavfsizligini ta'minlaydi.
Komponentlar: qo'riqchilar, favqulodda to'xtatish tugmalari va xavfsizlik blokirovkalari va boshqalarni o'z ichiga oladi.
Xulosa qiling.
Vakuumli qoplama uskunalari ushbu komponentlarning sinergik ishi orqali yuqori sifatli yupqa plyonkalarni yotqizish jarayonini amalga oshiradi. Ushbu mashinalar optik, elektron, dekorativ va funktsional yupqa plyonkalarni tayyorlashda muhim rol o'ynaydi.
- Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Xabar vaqti: 2024 yil 23 iyul