براہ راست آئن بیم جمع کرنے کا تعارف

ڈائریکٹ آئن بیم ڈپوزیشن آئن بیم کی مدد سے جمع ہونے کی ایک قسم ہے۔ براہ راست آئن بیم جمع ایک غیر بڑے پیمانے پر الگ شدہ آئن بیم جمع ہے۔ یہ تکنیک پہلی بار 1971 میں ہیرے جیسی کاربن فلمیں بنانے کے لیے استعمال کی گئی تھی، اس اصول کی بنیاد پر کہ آئن سورس کے کیتھوڈ اور اینوڈ کا اہم حصہ کاربن سے بنا ہے۔

حساس گیس کو خارج ہونے والے چیمبر میں لے جایا جاتا ہے، اور کم دباؤ کے حالات میں پلازما خارج ہونے کے لیے ایک بیرونی مقناطیسی میدان شامل کیا جاتا ہے، جو کاربن آئنز پیدا کرنے کے لیے الیکٹروڈز پر آئنوں کے پھٹنے والے اثر پر انحصار کرتا ہے۔ پلازما میں کاربن آئنوں اور گھنے آئنوں کو ایک ہی وقت میں جمع کرنے والے چیمبر میں شامل کیا گیا تھا، اور سبسٹریٹ پر منفی تعصب کے دباؤ کی وجہ سے ان کو سبسٹریٹ میں انجکشن لگانے کے لیے تیز کیا گیا تھا۔

ٹیسٹ کے نتائج سے پتہ چلتا ہے کہ کاربن آئن 50~100eV کی توانائی کے ساتھکمرہدرجہ حرارت، Si، NaCI، KCI، Ni اور دیگر ذیلی جگہوں میں شفاف ہیرے نما کاربن فلم کی تیاری پر، 10Q-cm تک مزاحمتی صلاحیت، تقریباً 2 کا ریفریکٹیو انڈیکس، غیر نامیاتی اور نامیاتی تیزابوں میں اگھلنشیل، بہت زیادہ سختی ہے۔

——یہ مضمون جاری کیا گیا ہے۔ویکیوم کوٹنگ مشین بنانے والاگوانگ ڈونگ زینہوا