Theобладнання для вакуумного покриттяскладається з багатьох точних деталей, які виготовляються за допомогою багатьох процесів, таких як зварювання, шліфування, токарство, стругання, свердління, фрезерування тощо. Внаслідок цих робіт поверхня деталей обладнання неминуче забруднюється деякими забруднювачами, такими як мастило, масляний бруд, металева стружка, зварювальний флюс, полірувальна паста, сліди поту тощо. Ці забруднювачі легко випаровуються в умовах вакууму, що впливає на кінцевий вакуум обладнання.
Крім того, ці забруднювачі вакууму, що утворюються внаслідок механічної обробки, поглинають велику кількість газу в середовищі атмосферного тиску, і у вакуумному стані ці раніше адсорбовані гази також знову вивільняються, стаючи основним фактором, що обмежує граничний вакуум. З цієї причини забруднювачі необхідно видалити перед складанням деталей вакуумної машини для нанесення покриття.
Під час використання вакуумного обладнання його компоненти також забруднюються. Однак забруднення з цього джерела в основному спричинене умовами використання та вакуумним насосом.
1. Випаровування нитки розжарення вакуумметра за умов високої температури призведе до утворення плівки на керамічному ізоляторі, що певною мірою пошкодить його ізоляційну міцність, а також матиме певний вплив на точність його вимірювання;
2. Через випаровування за високої температури на поверхні поблизу нитки розжарення електронної гармати у вакуумі утворюється металева плівка;
3. Через розпилення заготовки внутрішня стінка обладнання для іонно-променевого травлення буде забруднена бризками;
4. Внутрішня стінка обладнання для вакуумного випаровування буде забруднена матеріалом, з якого випаровується покриття;
5. Часто використовується вакуумна система сушіння, і система буде забруднюватися випарованими речовинами;
6. Масло дифузійного насоса та масло механічного насоса у вакуумному покритті також є основним джерелом забруднення. Після тривалої роботи покриттєвої машини всередині обладнання може утворюватися масляна плівка.
Підсумовуючи, вакуумна санітарна обробка обладнання включає вакуумне обладнання, вакуумну систему, вакуумний процес виробництва та інші аспекти та зв'язки, а також вимоги до самого обладнання для вакуумного покриття та спеціального вакуумного процесу до умов використання. Тому забруднення вакуумом є проблемою, що заслуговує на увагу, оскільки це забруднення впливає на продуктивність обладнання, і слід приділяти увагу регулярному або будь-якому очищенню.
Час публікації: 21 лютого 2023 р.