Температурний коефіцієнт опору металевої плівки змінюється залежно від товщини плівки, тонкі плівки мають негативний заряд, товсті плівки – позитивний, а товстіші плівки подібні, але не ідентичні об'ємним матеріалам. Загалом, температурний коефіцієнт опору змінюється з негативного на позитивний зі збільшенням товщини плівки до десятків нанометрів.
Крім того, швидкість випаровування також впливає на коефіцієнт резистивної температури металевих плівок. При низькій швидкості випаровування плівка має вільні електрони, що перетинають її потенційний бар'єр, і здатність до провідності є слабкою, що пов'язано з окисленням та адсорбцією, тому значення опору високе, а коефіцієнт температури опору малий або навіть негативний. Зі збільшенням швидкості випаровування коефіцієнт температури опору змінюється з великого на додатний. Це пов'язано з низькою швидкістю випаровування плівки, отриманої через окислення напівпровідникових властивостей, а коефіцієнт температури опору має негативне значення. Плівки, отримані з високою швидкістю випаровування, як правило, мають металеві властивості та позитивний коефіцієнт температури опору.
Оскільки структура плівки незворотно змінюється з температурою, опір та температурний коефіцієнт опору плівки також змінюються з температурою шару покриття під час випаровування, і чим тонша плівка, тим різкіші зміни. Це можна розглядати як результат хімічних змін, спричинених повторним випаровуванням та перерозподілом частинок приблизної острівцевої або трубчастої структури плівки на підкладці, а також розсіюванням на ґратці, розсіюванням на домішках, розсіюванням на дефектах ґратки та окисленням.
–Цю статтю опубліковановиробництво вакуумної машини для покриттяр Гуандун Чженьхуа
Час публікації: 18 січня 2024 р.