Туры ион нурлары - ион нурлары ярдәмендә чүлмәк. Туры ион нуры - масса белән аерылмаган ион нуры. Бу ысул беренче тапкыр 1971-нче елда бриллиантка охшаган углерод фильмнары җитештерү өчен кулланылган, катод һәм ион чыганагының анодының төп өлеше углеродтан ясалган.
Акыллы газ агызу палатасына кертелә, һәм тышкы магнит кыры түбән басым шартларында плазманы агызуга китерә, ионнарның электродларга углерод ионнары тәэсиренә таянып. Плазмадагы углерод ионнары һәм тыгыз ионнар бер үк вакытта чүпләү камерасына кертелде, һәм алар субстратка тискәре тискәре басым аркасында субстратка укол белән тизләнде.
Тест нәтиҗәләре шуны күрсәтә: 50 ~ 100eV энергиясе булган углерод ионнарыбүлмәSi, NaCI, KCI, Ni һәм башка субстратларда бриллиантка охшаган углерод пленкасы әзерләүдә, 10Q-см га кадәр каршылык, 2 гә якын реактив индекс, органик һәм органик кислоталарда эри алмаган бик каты.
—— Бу мәкалә бастырылганвакуум каплау машинасы җитештерүчеГуандун Чжэнхуа
Пост вакыты: 31-2023 август