Thevakum kaplama ekipmanıkaynak, taşlama, tornalama, planyalama, delme, frezeleme vb. gibi birçok işlemle yapılan birçok hassas parçadan oluşur. Bu çalışmalar nedeniyle ekipman parçalarının yüzeyi kaçınılmaz olarak gres, yağ kiri, metal talaşı, kaynak akısı, parlatma macunu, ter izleri vb. gibi bazı kirleticilerle kirlenecektir. Bu kirleticiler vakum koşulları altında kolayca buharlaşır ve böylece ekipmanın nihai vakumunu etkiler.
Ayrıca, mekanik işlemeden kaynaklanan bu vakum kirleticileri atmosferik basınç ortamında büyük miktarda gaz emer ve vakum durumunda, daha önce adsorbe edilen bu gazlar da tekrar salınır ve limit vakumu sınırlayan önemli bir faktör haline gelir. Bu nedenle, vakum kaplama makinesinin parçaları monte edilmeden önce kirleticilerin uzaklaştırılması gerekir.
Vakum ekipmanının kullanımı sırasında bileşenleri de kirlenecektir. Ancak bu kaynaktan gelen kirlilik esas olarak kullanım koşulları ve vakum pompasından kaynaklanmaktadır.
1. Vakum göstergesinin filamanının yüksek sıcaklık koşullarında buharlaşması, seramik yalıtkanın üzerinde bir film oluşumuna yol açacak ve bu da yalıtım mukavemetine belirli bir ölçüde zarar verecek ve ayrıca ölçümünün doğruluğu üzerinde belirli bir etkiye sahip olacaktır;
2. Vakum ortamında elektron tabancasının filamanına yakın yüzeyde yüksek sıcaklıkta buharlaşma sonucu metal bir film oluşacaktır;
3. İş parçası püskürtme nedeniyle, iyon demeti aşındırma ekipmanının iç duvarı sıçramalarla kirlenecektir;
4. Vakum buharlaştırma kaplama ekipmanının iç duvarı, buharlaştırma hedef malzemesi tarafından kirletilecektir;
5. Vakumlu kurutma sistemi sıklıkla kullanılır ve sistem buharlaşan maddeler tarafından kirletilir;
6. Vakum kaplama ekipmanındaki difüzyon pompası yağı ve mekanik pompa yağı da büyük bir kirlilik kaynağıdır. Kaplama makinesi uzun süre çalıştıktan sonra ekipmanın içinde bir yağ filmi oluşabilir.
Özetlemek gerekirse, ekipmanın vakumla sanitasyonu vakum ekipmanı, vakum sistemi, vakum prosesi üretimi ve diğer yönleri ve bağlantıları, ayrıca vakum kaplama ekipmanının kendisinin ve özel vakum prosesinin kullanım koşullarına ilişkin gereklilikleri içerir. Bu nedenle, vakum kirliliği dikkat edilmesi gereken bir sorundur, çünkü bu kirlilik ekipmanın performansını etkileyecektir ve düzenli veya herhangi bir zamanda temizliğe dikkat edilmelidir.
Gönderi zamanı: 21-Şub-2023