Metal film direnç sıcaklık katsayısı film kalınlığına göre değişir, ince filmler negatif, kalın filmler pozitiftir ve daha kalın filmler yığın malzemelere benzerdir ancak aynı değildir. Genel olarak, direnç sıcaklık katsayısı film kalınlığı onlarca nanometreye çıktıkça negatiften pozitife değişir.
Ek olarak, buharlaşma hızı metal filmlerin direnç sıcaklık katsayısını da etkiler. Düşük buharlaşma hızı ile hazırlanan film tabakası gevşektir, elektronlar potansiyel bariyerini geçer ve iletkenlik üretme yeteneği zayıftır, oksidasyon ve adsorpsiyonla birleştiğinde direnç değeri yüksektir, direnç sıcaklık katsayısı küçüktür veya hatta negatiftir, buharlaşma hızındaki artışla, direnç sıcaklık katsayısının direnci küçükten büyüğe, negatiften pozitife değişir. Bunun nedeni, yarı iletken özelliklerinin oksidasyonu nedeniyle hazırlanan filmin düşük buharlaşma hızıdır, direnç sıcaklık katsayısı negatif değerlerdir. Yüksek buharlaşma hızında hazırlanan filmler metalik özelliklere sahip olma eğilimindedir ve pozitif bir direnç sıcaklık katsayısına sahiptir.
Filmin yapısı sıcaklıkla geri döndürülemez şekilde değiştiğinden, filmin direnci ve direnç sıcaklık katsayısı da buharlaşma sırasında kaplama tabakasının sıcaklığıyla değişir ve film ne kadar ince olursa, değişim o kadar büyük olur. Bu, yaklaşık ada veya boru şeklindeki yapı filminin parçacıklarının alt tabaka üzerinde yeniden buharlaşması ve yeniden dağıtılmasının neden olduğu kimyasal değişikliklerin yanı sıra kafes saçılması, safsızlık saçılması, kafes kusurlarının saçılması ve oksidasyonun bir sonucu olarak düşünülebilir.
–Bu makale tarafından yayınlanmıştırvakum kaplama makinesi imalatır Guangdong Zhenhua
Gönderi zamanı: 18-Oca-2024