Vakum kaplama ekipmanı genellikle her biri kendi özel işlevine sahip olan ve verimli, tekdüze film birikimi elde etmek için birlikte çalışan birkaç temel bileşenden oluşur. Aşağıda ana bileşenlerin ve işlevlerinin açıklaması verilmiştir:
Ana Bileşenler
Vakum odası:
Fonksiyon: Buharlaşma veya püskürtme sırasında kaplama malzemesinin havadaki kirleticilerle reaksiyona girmesini önlemek için düşük basınç veya yüksek vakum ortamı sağlayarak filmin saflığını ve kalitesini garanti eder.
Yapı: Genellikle yüksek mukavemetli, paslanmaz çelik veya alüminyumdan üretilen iç tasarım, hava akışının dağılımını ve alt tabakanın kolay yerleştirilmesini dikkate alır.
Vakum pompası sistemi:
Görevi: Vakum haznesindeki gazı dışarı pompalayarak istenilen vakum seviyesine ulaşmak için kullanılır.
Türleri: Mekanik pompalar (örneğin döner kanatlı pompalar), turbomoleküler pompalar, difüzyon pompaları ve iyon pompaları dahildir.
Buharlaşma kaynağı veya püskürtme kaynağı:
İşlevi: Kaplama malzemesini vakumda ısıtıp buharlaştırarak buhar veya plazma oluşturur.
Türleri: Direnç ısıtma kaynağı, elektron ışını buharlaştırma kaynağı, magnetron püskürtme kaynağı ve lazer buharlaştırma kaynağı vb.
Altlık tutucu ve döner mekanizma:
Fonksiyonu: Alt tabakayı tutar ve dönme veya salınım yoluyla kaplama malzemesinin alt tabakanın yüzeyine düzgün bir şekilde birikmesini sağlar.
YAPI: Genellikle farklı şekil ve boyutlardaki alt tabakalara uyum sağlamak için ayarlanabilir kelepçeler ve dönen/salınımlı mekanizmalar içerir.
Güç kaynağı ve kontrol sistemi:
Fonksiyon: Buharlaştırma kaynağına, püskürtme kaynağına ve diğer ekipmanlara güç sağlar ve sıcaklık, vakum ve zaman gibi genel kaplama işleminin parametrelerini kontrol eder.
Bileşenler: Güç kaynakları, kontrol panelleri, bilgisayarlı kontrol sistemleri ve izleme sensörlerini içerir.
Gaz Besleme Sistemi (Sputter kaplama ekipmanları için):
İşlevi: Bir plazmayı korumak veya belirli bir ince film oluşturmak için kimyasal reaksiyona katılmak üzere inert gazlar (örneğin argon) veya reaktif gazlar (örneğin oksijen, azot) sağlar.
Bileşenler: Gaz silindirleri, akış kontrolörleri ve gaz dağıtım borularını içerir.
Soğutma Sistemi:
Fonksiyonu: Buharlaşma kaynağını, püskürtme kaynağını ve vakum odasını soğutarak aşırı ısınmayı önler.
Türleri: Su soğutma sistemleri, hava soğutma sistemleri vb. içerir.
İzleme ve tespit sistemi:
Fonksiyon: Kaplama kalitesini garantilemek için kaplama sürecinde film kalınlığı, biriktirme hızı, vakum ve sıcaklık gibi temel parametrelerin gerçek zamanlı izlenmesi.
Türleri: Kuvars kristal mikro terazisi, optik kalınlık monitörü ve artık gaz analizörü vb. dahil.
Koruyucu cihazlar:
Fonksiyon: Yüksek sıcaklık, yüksek voltaj veya vakum ortamlarından kaynaklanan tehlikelere karşı operatörlerin ve ekipmanların güvenliğini sağlar.
Bileşenler: Koruyucular, acil durdurma düğmeleri ve emniyet kilitleri vb. içerir.
Özetle.
Vakum kaplama ekipmanı, bu bileşenlerin sinerjik çalışmasıyla yüksek kaliteli ince filmler biriktirme sürecini gerçekleştirir. Bu makineler optik, elektronik, dekoratif ve işlevsel ince filmlerin hazırlanmasında hayati bir rol oynar.
–Bu makale tarafından yayınlanmıştırvakum kaplama makinesi üreticisiGuangdong Zhenhua
Gönderi zamanı: 23-Tem-2024