Wakuum buharlandyryş örtügi (buharlandyryş örtügi diýlip atlandyrylýar) wakuum gurşawynda bolýar, buharlandyryjy plýonka materialyny gazlaşdyrmak üçin gyzdyrýar, plýonka materialynyň bölejik akymyny gönüden-göni substrata we substrat çökündisine geçirýär, gaty plýonka tehnologiýasyny emele getirýär. Wakuum buharlandyryş PVD tehnologiýasy bolup, iň irki, has giňden ulanylýan şäher plýonka tehnologiýasynyň işlenip düzülmeginde ulanylýar, emma soňra purkamak we ion örtükleriniň işlenip düzülmegi wakuum buharlandyryşdan köp babatda artykmaçlyk berýär, ýöne wakuum buharlandyryş şäher plýonka tehnologiýasynyň köp artykmaçlyklary bar, mysal üçin enjamlar we proses deňeşdirme boýunça ýönekeý, hem örän arassa plýonka çökündi, hem-de belli bir gurluş we plýonka gatlagynyň häsiýetleri bilen taýýarlanyp bilner we ş.m. Bu usulyň esasy kemçilikleri kristal gurluşly plýonkalary almagyň aňsat däldigi, plýonkanyň substrata ýelmeşmeginiň azdygy we prosesiň gaýtalanmagy ýeterlik däldigi.
Soňky ýyllarda elektron bombardmanynyň buharlandyrmasy, ýokary ýygylykly induksiýa buharlandyrmasy, şeýle hem lazer buharlandyrmasy we beýleki tehnologiýalaryň kömegi bilen wakuum buharlandyrma örtük tehnologiýasy umumy ulanylyşda ulanylýar, şonuň üçin bu tehnologiýa has kämil we maşynlarda, elektrik wakuumynda, radioda, optikada, atom energiýasynda giňden ulanylýar.
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 17-nji awgusty