Vakum buharlaştırma kaplama (buharlaştırma kaplama olarak da anılır), vakum ortamında, buharlaştırıcıda ısıtılan film malzemesinin gazlaştırılması ve buharlaşan parçacık akışının doğrudan alt tabakaya ve alt tabaka üzerine çökelmesiyle katı film oluşturma teknolojisidir. Vakum buharlaştırma, PVD teknolojisinin gelişiminde en eski ve en yaygın kullanılan film teknolojisidir. Daha sonra geliştirilen püskürtme ve iyon kaplama yöntemleri birçok açıdan vakum buharlaştırmaya göre üstün olsa da, vakum buharlaştırma film teknolojisinin hala birçok avantajı vardır; örneğin, ekipman ve işlem nispeten basittir, hem çok saf film çökelmesi sağlanır hem de belirli bir yapı ve özelliklere sahip film tabakası hazırlanabilir, vb. Bu yöntemin başlıca dezavantajları ise kristal yapılı filmlerin elde edilmesinin zor olması, filmin alt tabakaya yapışmasının az olması ve işlem tekrarlanabilirliğinin yeterince iyi olmamasıdır.
Son yıllarda, elektron bombardımanlı buharlaştırma, yüksek frekanslı indüksiyon buharlaştırma, lazer buharlaştırma ve diğer teknolojilerin vakumlu buharlaştırma kaplama teknolojisinde genel uygulamaya girmesiyle bu teknoloji daha da mükemmelleşmiş ve makine, elektrikli vakum, radyo, optik, atom enerjisi gibi alanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır.
Yayın tarihi: 17 Ağustos 2023