Vakuumli bug'lanish qoplamasi (bug'lanish qoplamasi deb ataladi) vakuum muhitida bo'lib, bug'latgich plyonka materialini gazlashtirish uchun isitadi, plyonka materiali bug'lanadi va zarrachalar oqimi to'g'ridan-to'g'ri substratga oqib o'tadi va substrat cho'kma hosil qiladi, qattiq plyonka texnologiyasi hosil bo'ladi. Vakuumli bug'lanish PVD texnologiyasining rivojlanishidagi eng qadimgi, kengroq qo'llaniladigan shahar plyonka texnologiyasidir, garchi keyinchalik purkash va ion qoplamasi vakuumli bug'lanishdan ko'ra ko'p jihatdan ustunlikka ega bo'lsa-da, vakuumli bug'lanish shahar plyonka texnologiyasi hali ham ko'plab afzalliklarga ega, masalan, uskunalar va jarayon nisbatan sodda, ham juda sof plyonka cho'ktirish, balki plyonka qatlamining o'ziga xos tuzilishi va xususiyatlari bilan tayyorlanishi mumkin va hokazo. Ushbu usulning asosiy kamchiliklari shundaki, kristalli tuzilishga ega plyonkalarni olish oson emas, plyonkaning substratga yopishishi kichik va jarayonning takrorlanishi yetarli emas.
So'nggi yillarda elektron bombardimon bug'lanishi, yuqori chastotali induksiya bug'lanishi, shuningdek, lazer bug'lanishi va boshqa texnologiyalar tufayli vakuum bug'lanish qoplama texnologiyasi umumiy qo'llanilishda qo'llanila boshlandi, shuning uchun bu texnologiya yanada mukammal bo'lib, mashinasozlik, elektr vakuum, radio, optika, atom energiyasi kabi shaharlarni topishda keng qo'llaniladi.
Nashr vaqti: 2023-yil 17-avgust