تُجرى عملية طلاء التبخير الفراغي (المعروفة أيضًا باسم طلاء التبخير) في بيئة مفرغة من الهواء، حيث يُسخّن المبخر مادة الفيلم لتحويلها إلى غاز، ثم يتبخر تيار الجسيمات من مادة الفيلم مباشرةً إلى الركيزة، مما يؤدي إلى ترسيبها وتكوين طبقة صلبة. يُعدّ التبخير الفراغي من أوائل تقنيات ترسيب الأغشية الفيزيائية الفيزيائية (PVD) وأكثرها استخدامًا على نطاق واسع. ورغم تفوق تقنيات الترسيب بالرش والترسيب الأيوني اللاحقة عليه في جوانب عديدة، إلا أن تقنية التبخير الفراغي لا تزال تتمتع بالعديد من المزايا، مثل سهولة استخدام المعدات والعملية، وإمكانية ترسيب أغشية عالية النقاء، بالإضافة إلى إمكانية تحضير طبقات ذات بنية وخصائص محددة. أما عيوب هذه الطريقة الرئيسية فتتمثل في صعوبة الحصول على أغشية ذات بنية بلورية، وضعف التصاق الفيلم بالركيزة، وعدم كفاية تكرار العملية.
في السنوات الأخيرة، وبسبب تقنيات التبخير بقصف الإلكترونات، والتبخير بالحث عالي التردد، بالإضافة إلى التبخير بالليزر وغيرها من التقنيات في تقنية طلاء التبخير الفراغي في التطبيق العام لهذه التقنية، أصبحت هذه التقنية أكثر كمالاً، وتستخدم على نطاق واسع في الآلات، والفراغ الكهربائي، والراديو، والبصريات، والطاقة الذرية.
تاريخ النشر: 17 أغسطس 2023