Vakuum buxarlanma örtüyü (buxarlanma örtüyü adlanır) vakuum mühitindədir, buxarlandırıcı film materialını qazlaşdırma etmək üçün qızdırır, film materialının buxarlanması hissəcik axınının birbaşa substrata və substratın çökməsinə, bərk film texnologiyasının əmələ gəlməsinə səbəb olur. Vakuum buxarlanması ən erkən, daha geniş istifadə edilən şəhər film texnologiyasının inkişafında PVD texnologiyasıdır, baxmayaraq ki, sonradan püskürtmə və ion örtüyünün inkişafı bir çox cəhətdən vakuum buxarlanma üstünlüyünə malikdir, lakin vakuum buxarlanma şəhər film texnologiyası hələ də avadanlıq və proses nisbətən sadədir, həm çox təmiz filmin çökməsi, həm də müəyyən bir quruluş və film təbəqəsinin xüsusiyyətləri ilə hazırlana bilər və s. Bu metodun əsas çatışmazlıqları kristal quruluşa malik filmlərin əldə edilməsinin asan olmaması, filmin substrata yapışmasının az olması və prosesin təkrarlanmasının kifayət qədər yaxşı olmamasıdır.
Son illərdə elektron bombardmanı buxarlanması, yüksək tezlikli induksiya buxarlanması, eləcə də lazer buxarlanması və digər texnologiyalar sayəsində vakuum buxarlanma örtük texnologiyası ümumi tətbiqdə istifadə olunur, beləliklə, bu texnologiya daha mükəmməldir və maşınqayırma, elektrik vakuumu, radio, optika, atom enerjisi sahələrində geniş istifadə olunur.
Yayımlanma vaxtı: 17 Avqust 2023