Вакуумдық булану жабыны (булану жабыны деп аталады) вакуумдық ортада, буландырғыш пленка материалын газдандыру үшін қыздырады, пленка материалы бөлшектер ағынын тікелей субстратқа және субстратқа тұндыру арқылы буланады, қатты пленка технологиясын қалыптастырады. Вакуумдық булану - PVD технологиясының ең алғашқы, кеңінен қолданылатын қалалық пленка технологиясын әзірлеудегі ең алғашқы технологиясы, бірақ кейінірек тозаңдату және иондық қаптаманың дамуы вакуумдық буланудан гөрі көптеген аспектілерде артықшылыққа ие болды, бірақ вакуумдық булану қалалық пленка технологиясының әлі де көптеген артықшылықтары бар, мысалы, жабдық пен процесс салыстырмалы түрде қарапайым, өте таза пленканы тұндыру, сонымен қатар пленка қабатының белгілі бір құрылымы мен қасиеттерімен дайындалуы мүмкін. Бұл әдістің негізгі кемшіліктері - кристалды құрылымы бар пленкаларды алу оңай емес, пленканың субстратқа адгезиясы аз және процестің қайталануы жеткіліксіз.
Соңғы жылдары электронды бомбалау булануының, жоғары жиілікті индукциялық буланудың, сондай-ақ лазерлік буланудың және басқа да технологиялардың арқасында вакуумдық булану жабыны технологиясы жалпы қолданыста қолданылып келеді, сондықтан бұл технология жетілдірілген және машина жасау, электр вакуумы, радио, оптика, атом энергиясы сияқты қалаларда кеңінен қолданылады.
Жарияланған уақыты: 2023 жылғы 17 тамыз