Вакуумное напыление (также называемое испарительным напылением) — это технология нанесения пленочного покрытия в вакуумной среде, при которой нагреваемый в испарителе материал подвергается газификации, а поток частиц испаряется непосредственно на подложку, где происходит осаждение, формируя твердую пленку. Вакуумное напыление — это одна из самых ранних и широко используемых технологий нанесения пленочных покрытий методом PVD, хотя она во многом превосходит вакуумное напыление по многим параметрам, таким как простота оборудования и процесса, возможность нанесения очень чистых пленок, а также получение пленок с заданной структурой и свойствами. Основные недостатки этого метода заключаются в том, что сложно получить пленки с кристаллической структурой, адгезия пленки к подложке низкая, а повторяемость процесса недостаточно высока.
В последние годы, благодаря электронно-бомбардировочному испарению, высокочастотному индукционному испарению, а также лазерному испарению и другим технологиям, вакуумное напыление стало широко применяться в различных областях, что позволило усовершенствовать технологию и широко использовать ее в машиностроении, электротехнике, вакуумной технике, радиотехнике, оптике, атомной энергетике и других областях.
Дата публикации: 17 августа 2023 г.