Phương pháp phủ màng bằng bay hơi chân không (gọi tắt là phủ bay hơi) hoạt động trong môi trường chân không, trong đó vật liệu màng được nung nóng trong thiết bị bay hơi để chuyển thành dạng khí, sau đó vật liệu màng bay hơi thành dòng hạt trực tiếp lên chất nền và lắng đọng trên chất nền, tạo thành màng rắn. Bay hơi chân không là công nghệ phủ màng được phát triển sớm nhất và được sử dụng rộng rãi nhất trong quá trình phát triển công nghệ PVD. Mặc dù các phương pháp lắng đọng phún xạ và mạ ion sau này có nhiều ưu điểm hơn so với bay hơi chân không, nhưng công nghệ phủ màng bằng bay hơi chân không vẫn có nhiều ưu điểm, chẳng hạn như thiết bị và quy trình tương đối đơn giản, vừa tạo ra màng rất tinh khiết, vừa có thể chế tạo lớp màng với cấu trúc và tính chất cụ thể, v.v. Nhược điểm chính của phương pháp này là khó thu được màng có cấu trúc tinh thể, độ bám dính của màng trên chất nền thấp và độ lặp lại của quy trình không tốt.
Trong những năm gần đây, nhờ sự phát triển của công nghệ bay hơi chân không, bao gồm bay hơi bằng bắn phá electron, bay hơi cảm ứng tần số cao, cũng như bay hơi bằng laser và các công nghệ khác, công nghệ phủ màng bằng bay hơi chân không đã được ứng dụng rộng rãi, hoàn thiện hơn và được sử dụng phổ biến trong các ngành cơ khí, điện chân không, vô tuyến, quang học, năng lượng nguyên tử và nhiều lĩnh vực khác.
Thời gian đăng bài: 17/08/2023