Вакуум парга әйләндерү каплавы (парга әйләндерү каплавы дип атала) вакуум мохитендә була, парга әйләндерү җайланмасы пленка материалын газлаштыру өчен җылыта, пленка материалы кисәкчәләр агымын турыдан-туры субстратка парга әйләндерә һәм субстратны утырта, каты пленка технологиясен формалаштыра. Вакуум парга әйләндерү - PVD технологиясе, иң иртә, киңрәк кулланыла торган шәһәр пленка технологиясе, гәрчә соңрак сиптерү һәм ион каплавы вакуум парга әйләндерүдән күп яктан өстен булса да, вакуум парга әйләндерү шәһәр пленка технологиясенең әле дә күп өстенлекләре бар, мәсәлән, җиһазлар һәм процесс чагыштырмача гади, бик саф пленка утырту гына түгел, ә пленка катламының билгеле бер структурасы һәм үзенчәлекләре белән әзерләнергә мөмкин һ.б. Бу ысулның төп кимчелекләре - кристалл структуралы пленкалар алу җиңел түгел, пленканың субстратка ябышуы аз, һәм процессның кабатлануы җитәрлек түгел.
Соңгы елларда электрон бомбардирование парландыру, югары ешлыклы индукцион парландыру, шулай ук лазер парландыру һәм башка технологияләр аркасында вакуум парландыру каплау технологиясе гомуми кулланылышта кулланыла, шуңа күрә бу технология тагын да камилләштерелә һәм машина төзелеше, электр вакуумы, радио, оптика, атом энергиясе кебек өлкәләрдә киң кулланыла.
Бастырып чыгару вакыты: 2023 елның 17 августы