Вакуумдук буулантуу менен каптоо (буулантуу менен каптоо деп аталат) вакуумдук чөйрөдө болот, бууланткыч пленка материалын газдаштыруу үчүн ысытат, пленка материалы бөлүкчөлөр агымын түздөн-түз субстратка буулантат жана субстраттын чөкмөсүн пайда кылат, катуу пленка технологиясын пайда кылат. Вакуумдук буулантуу - бул эң алгачкы, кеңири колдонулган шаардык пленка технологиясынын өнүгүшүндөгү PVD технологиясы, бирок кийинчерээк чачыратуу жана иондук каптоо вакуумдук буулантуудан көп жагынан артыкчылыкка ээ болгон, бирок вакуумдук буулантуу шаардык пленка технологиясынын дагы эле көптөгөн артыкчылыктары бар, мисалы, жабдуулар жана процесс салыштырмалуу жөнөкөй, өтө таза пленканы чөктүрүү, ошондой эле пленка катмарынын белгилүү бир түзүлүшү жана касиеттери менен даярдалышы мүмкүн ж.б. Бул ыкманын негизги кемчиликтери - кристаллдык түзүлүшкө ээ пленкаларды алуу оңой эмес, пленканын субстратка адгезиясы аз жана процесстин кайталанышы жетиштүү эмес.
Акыркы жылдары электрондук бомбалоонун буулануусу, жогорку жыштыктагы индукциялык буулануу, ошондой эле лазердик буулануу жана башка технологиялар аркылуу вакуумдук буулануу менен каптоо технологиясы жалпы колдонууда колдонулуп, бул технология эң сонун болуп, машина курууда, электр вакуумунда, радиодо, оптикада, атомдук энергияда кеңири колдонулууда.
Жарыяланган убактысы: 2023-жылдын 17-августу