Вакуум ууршуулах бүрхүүл (ууршуулах бүрхүүл гэж нэрлэдэг) нь вакуум орчинд ууршуулагчаар халааж, хальсан материалыг хийжүүлдэг бөгөөд хальсан материалыг бөөмсийн урсгалаар шууд субстрат руу ууршуулж, хатуу хальсан технологи үүсгэдэг. Вакуум ууршуулах нь PVD технологи бөгөөд хамгийн эртний, илүү өргөн хэрэглэгддэг хот суурингийн хальсан технологийг хөгжүүлсэн боловч хожим нь цацалт болон ион бүрэх нь вакуум ууршуулахаас олон талаараа давуу талтай боловч вакуум ууршуулах хот суурингийн хальсан технологи нь тоног төхөөрөмж, процесс харьцангуй энгийн, маш цэвэр хальсан хуримтлал төдийгүй тодорхой бүтэц, шинж чанартай хальсан давхарга бэлтгэх боломжтой гэх мэт олон давуу талтай хэвээр байна. Энэ аргын гол сул тал нь талст бүтэцтэй хальсыг олж авахад хялбар биш, хальсны суурь дээр наалдах чадвар бага, процессын давтагдах чадвар хангалтгүй байдаг.
Сүүлийн жилүүдэд электрон бөмбөгдөлтийн ууршилт, өндөр давтамжийн индукцийн ууршилт, лазер ууршилт болон бусад технологийн ачаар вакуум ууршилтын бүрхүүлийн технологийг ерөнхийд нь хэрэглэж байгаа тул энэхүү технологийг илүү төгс болгож, машин механизм, цахилгаан вакуум, радио, оптик, атомын эрчим хүч зэрэг хотуудад өргөн ашиглаж байна.
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 8-р сарын 17