ZCL0608

อุปกรณ์นี้ผสานรวมเทคโนโลยีการสปัตเตอร์ด้วยแมกเนตรอนและการระเหยด้วยความต้านทาน และให้โซลูชันสำหรับการเคลือบพื้นผิวที่แตกต่างกันหลากหลายประเภท
อุปกรณ์เคลือบผิวแบบทดลองส่วนใหญ่ใช้ในมหาวิทยาลัยและสถาบันวิจัยทางวิทยาศาสตร์ และสามารถตอบสนองความต้องการในการทดลองที่หลากหลาย อุปกรณ์นี้มีเป้าหมายโครงสร้างต่างๆ ให้เลือกมากมาย สามารถปรับแต่งได้อย่างยืดหยุ่นเพื่อตอบสนองการวิจัยและพัฒนาทางวิทยาศาสตร์ในสาขาต่างๆ สามารถเลือกใช้ระบบต่างๆ ได้ เช่น ระบบสปัตเตอร์แบบแมกเนตรอน ระบบอาร์คแคโทด ระบบระเหยด้วยลำอิเล็กตรอน ระบบระเหยด้วยความต้านทาน CVD PECVD แหล่งกำเนิดไอออน ระบบไบแอส ระบบทำความร้อน อุปกรณ์จับยึดสามมิติ เป็นต้น ลูกค้าสามารถเลือกได้ตามความต้องการที่แตกต่างกัน
อุปกรณ์นี้มีคุณสมบัติเด่นคือ รูปลักษณ์สวยงาม โครงสร้างกะทัดรัด ใช้พื้นที่น้อย มีระบบอัตโนมัติสูง ใช้งานง่ายและยืดหยุ่น ประสิทธิภาพการทำงานเสถียร และบำรุงรักษาง่าย
อุปกรณ์นี้สามารถนำไปใช้กับพลาสติก สแตนเลส ชิ้นส่วนโลหะชุบไฟฟ้า/พลาสติก แก้ว เซรามิก และวัสดุอื่นๆ ได้ สามารถเตรียมชั้นโลหะอย่างง่าย เช่น ไทเทเนียม โครเมียม เงิน ทองแดง อลูมิเนียม หรือฟิล์มโลหะผสม เช่น TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC ได้