อุปกรณ์ทำความสะอาดพลาสม่าสุญญากาศใช้โครงสร้างแบบบูรณาการ ติดตั้งระบบทำความสะอาดไอออน RF การควบคุมอัตโนมัติเต็มรูปแบบ การทำงานและการบำรุงรักษาที่สะดวก
เครื่องกำเนิดความถี่สูง RF สามารถสร้างพลาสมาความหนาแน่นสูง กระตุ้น กัดกร่อน และเผาพื้นผิวชิ้นงาน ขจัดฝุ่นและจารบีบนพื้นผิวผลิตภัณฑ์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ ปลดปล่อยความเครียดบนพื้นผิว และรับการปรับเปลี่ยนต่างๆ บนพื้นผิวชิ้นงาน
สามารถนำไปใช้ได้กับยาง แก้ว เซรามิก โลหะ และผลิตภัณฑ์อื่นๆ และยังใช้กับไมโครอิเล็กทรอนิกส์ LCD LED LCM แผงวงจร PCB บรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ อุปกรณ์การแพทย์ การทดลองทางวิทยาศาสตร์ชีวภาพ และสาขาอื่นๆ อีกด้วย