อุปกรณ์นี้ใช้โครงสร้างแบบโมดูลาร์แนวตั้ง และมีประตูทางเข้าหลายบานเพื่ออำนวยความสะดวกในการติดตั้งและบำรุงรักษาช่องประกอบ การปรับปรุง และการอัพเกรดในอนาคต มาพร้อมระบบลำเลียงวัสดุบริสุทธิ์แบบปิดสนิทเพื่อป้องกันการปนเปื้อนของชิ้นงาน สามารถเคลือบชิ้นงานได้ทั้งด้านเดียวหรือสองด้าน โดยส่วนใหญ่ใช้สำหรับการเคลือบฟิล์มสีหรือฟิล์มโลหะ
ห้องเคลือบของอุปกรณ์รักษาภาวะสุญญากาศสูงได้เป็นเวลานาน ทำให้มีก๊าซเจือปนน้อย ได้สารเคลือบที่มีความบริสุทธิ์สูงและมีดัชนีหักเหที่ดี ระบบควบคุมแบบวงปิด Speedflo อัตโนมัติเต็มรูปแบบถูกติดตั้งเพื่อเพิ่มอัตราการเคลือบฟิล์ม สามารถตรวจสอบพารามิเตอร์ของกระบวนการได้ และสามารถตรวจสอบกระบวนการผลิตได้ตลอดทั้งกระบวนการเพื่ออำนวยความสะดวกในการติดตามข้อบกพร่องในการผลิต อุปกรณ์มีระดับการทำงานอัตโนมัติสูง สามารถใช้งานร่วมกับหุ่นยนต์เพื่อเชื่อมต่อกระบวนการด้านหน้าและด้านหลัง และลดต้นทุนแรงงานได้
สายการผลิตเคลือบผิวสามารถใช้เคลือบ Nb ได้2O5ซิลิกา2, ไทโอ2รวมถึงออกไซด์ต่างๆ เช่น ทองแดง โครเมียม ไทเทเนียม อะลูมิเนียมซัลเฟต เงิน และออกไซด์อื่นๆ ตลอดจนวัสดุโลหะธรรมดา ส่วนใหญ่ใช้ในกระบวนการผลิตฟิล์มสีแบบออปติคอลโดยการซ้อนทับโลหะและวัสดุออปติคอล เหมาะสำหรับผลิตภัณฑ์แผ่นเรียบที่ทำจากแก้ว พีซีสัตว์เลี้ยงและวัสดุอื่นๆ มีการนำไปใช้อย่างแพร่หลายในฟิล์ม PET/แผ่นคอมโพสิต แผ่นปิดกระจก จอแสดงผล และผลิตภัณฑ์อื่นๆ