การเคลือบด้วยการระเหยสูญญากาศ (เรียกอีกอย่างว่าการเคลือบด้วยการระเหย) อยู่ในสภาพแวดล้อมสูญญากาศ วัสดุฟิล์มที่ระเหยด้วยเครื่องระเหยจะทำให้เป็นก๊าซ วัสดุฟิล์มระเหยของกระแสอนุภาคโดยตรงไปยังพื้นผิวและการสะสมพื้นผิว การก่อตัวของเทคโนโลยีฟิล์มแข็ง การระเหยสูญญากาศเป็นเทคโนโลยี PVD ในการพัฒนาเทคโนโลยีฟิล์มเมืองที่เก่าแก่ที่สุดและใช้กันอย่างแพร่หลายมากขึ้น แม้ว่าการพัฒนาของการสปัตเตอร์และการชุบไอออนในภายหลังจะเหนือกว่าการระเหยสูญญากาศในหลาย ๆ ด้าน แต่เทคโนโลยีฟิล์มเมืองด้วยการระเหยสูญญากาศยังคงมีข้อดีมากมาย เช่น อุปกรณ์และกระบวนการค่อนข้างง่าย ทั้งการสะสมฟิล์มที่บริสุทธิ์มาก แต่ยังสามารถเตรียมด้วยโครงสร้างและคุณสมบัติเฉพาะของชั้นฟิล์ม เป็นต้น ข้อเสียหลักของวิธีนี้คือไม่ใช่เรื่องง่ายที่จะได้ฟิล์มที่มีโครงสร้างผลึก การยึดเกาะของฟิล์มกับพื้นผิวมีขนาดเล็ก และกระบวนการทำซ้ำไม่ดีพอ
ในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมา เนื่องจากการระเหยด้วยการโจมตีด้วยอิเล็กตรอน การระเหยด้วยการเหนี่ยวนำความถี่สูง เช่นเดียวกับการระเหยด้วยเลเซอร์และเทคโนโลยีอื่นๆ ในเทคโนโลยีการเคลือบระเหยสูญญากาศในการประยุกต์ใช้เทคโนโลยีทั่วไป ทำให้เทคโนโลยีนี้สมบูรณ์แบบยิ่งขึ้น และใช้กันอย่างแพร่หลายในเครื่องจักร สูญญากาศไฟฟ้า วิทยุ อุปกรณ์ออปติก พลังงานปรมาณูเพื่อค้นหาเมือง
เวลาโพสต์ : 17 ส.ค. 2566