Коэффисиенти ҳарорати муқовимат ба плёнкаи металлӣ аз ғафсии плёнка фарқ мекунад, плёнкаҳои борик манфӣ, плёнкаҳои ғафс мусбат ва плёнкаҳои ғафс монанданд, вале ба маводҳои оммавӣ шабеҳ нестанд. Умуман, коэффисиенти ҳарорати муқовимати муқовимат аз манфӣ ба мусбат тағйир меёбад, зеро ғафсии филм то даҳҳо нанометр зиёд мешавад.
Илова бар ин, суръати бухоршавӣ ба коэффисиенти ҳарорати муқовимати филмҳои металлӣ низ таъсир мерасонад. Суръати пасти бухоршавӣ, ки қабати плёнка омода кардааст, фуҷур аст, электронҳо дар монеаи потенсиалии он ва қобилияти тавлиди ноқилӣ заиф аст, ки дар якҷоягӣ бо оксидшавӣ ва адсорбсия, арзиши муқовимат баланд аст, коэффисиенти ҳарорати муқовимат хурд ва ҳатто манфӣ аст, бо афзоиши суръати бухоршавӣ, коэффисиенти ҳарорати муқовимати муқовимати муқовимати тағирёбии хурд аз калон, аз манфӣ ба мусбат. Ин ба суръати пасти бухоршавии плёнка аз хисоби оксидшавии хосиятхои нимноқил, коэффисиенти ҳарорати муқовимат аз арзишҳои манфӣ тайёр карда мешавад. Плёнкаҳое, ки бо суръати баланди бухоршавӣ омода мешаванд, хосиятҳои металлӣ доранд ва коэффисиенти мусбати ҳарорати муқовимат доранд.
Азбаски сохтори плёнка бо харорат бебозгашт тагйир меёбад, коэффисиенти харорати муқовимат ва муқовимати плёнка низ бо ҳарорати қабати рӯйпӯш ҳангоми бухоршавӣ тағйир меёбад ва плёнка ҳар қадар тунуктар бошад, тағирот ҳамон қадар шадидтар мешавад. Инро дар натичаи тагйироти кимиёвие, ки дар натичаи аз нав бухоршавй ва аз нав таксим шудани заррахои плёнкаи тахминии чазира ё плёнкаи сохти найдор дар субстрат ба амал омадаанд, инчунин парокандашавии торхо, пошидани ифлосихо, пароканда шудани нуксонхои торча ва оксидшавй хисоб кардан мумкин аст.
-Ин мақоларо нашр кардаастистеҳсоли мошинҳои пӯшиши вакуумӣр Гуандун Чжэнхуа
Вақти фиристодан: январ-18-2024