Ҷойгиршавии бевоситаи чӯби ионҳо як намуди таҳшиншавии чӯби ионҳо мебошад. Ҷойгиршавии бевоситаи шуои ионӣ як таҳшини шуои ионҳои ғайримассавӣ мебошад. Ин техника бори аввал соли 1971 барои тавлиди плёнкаҳои карбонмонанди алмос истифода шуда буд, ки дар асоси принсипи он ки қисми асосии катод ва аноди манбаи ион аз карбон иборат аст.
Гази ҳассос ба камераи разряд оварда мешавад ва майдони магнитии беруна илова карда мешавад, то дар шароити фишори паст разряди плазмаро ба вуҷуд оварад ва ба таъсири пошидани ионҳо дар электродҳо барои тавлиди ионҳои карбон такя мекунад. Ионҳои карбон ва ионҳои зич дар плазма дар як вақт ба камераи таҳшинкунӣ ворид карда шуданд ва онҳо аз сабаби фишори манфии ғаразнок ба субстрат ба субстрат ворид карда мешаванд.
Натиҷаҳои санҷиш нишон медиҳанд, ки ионҳои карбон бо энергияи 50 ~ 100эВ дарҳуҷраҳарорат, дар Si, NaCI, KCI, Ni ва дигар substrates оид ба тайёр намудани филми карбон шаффоф мисли алмос, муқовимат то 10Q-см, шохиси шикастани тақрибан 2, ҳалнашаванда дар кислотаҳои ғайриорганикӣ ва органикӣ, дорои сахтии хеле баланд.
——Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашакГуандун Чжэнхуа
Вақти фиристодан: 31-август-2023