Таҷҳизоти пӯшиши вакуумӣ маъмулан аз якчанд ҷузъҳои калидӣ иборат аст, ки ҳар як вазифаи махсуси худро доранд, ки барои ноил шудан ба таҳшини самаранок ва якхелаи филм кор мекунанд. Дар зер тавсифи ҷузъҳои асосӣ ва вазифаҳои онҳо оварда шудааст:
Қисмҳои асосӣ
Камераи вакуумӣ:
Функсия: Муҳити фишори паст ё баланд вакуумиро таъмин мекунад, то аз реаксияи маводи пӯшиш бо ифлосиҳои ҳавоӣ ҳангоми бухоршавӣ ё пошидан пешгирӣ карда, тозагӣ ва сифати филмро таъмин кунад.
Сохтор: Одатан аз пӯлоди зангногир ё алюминийи қавӣ, тарҳи дохилӣ тақсимоти ҷараёни ҳаво ва осонии ҷойгиркунии субстратро ба назар мегирад.
Системаи насоси вакуумӣ:
Вазифа: Барои баровардани газ дар дохили камераи вакуумӣ барои ноил шудан ба сатҳи зарурии вакуум истифода мешавад.
Намудҳо: Аз ҷумла насосҳои механикӣ (масалан, насосҳои гардишкунанда), насосҳои турбомолекулярӣ, насосҳои диффузионӣ ва насосҳои ионӣ.
Манбаи бухоршавӣ ё манбаи пошидан:
Вазифа: маводи рӯйпӯшро гарм мекунад ва бухор мекунад, то буғ ё плазмаро дар вакуум ташкил кунад.
Намудҳо: аз ҷумла манбаи гармидиҳии муқовимат, манбаи бухоршавии шуои электрон, манбаи пошидани магнитрон ва манбаи бухоршавии лазер ва ғайра.
Дорандаи субстрат ва механизми гардиш:
Функсия: Субстратро нигоҳ медорад ва ҷойгиркунии яксони маводи пӯшишро дар рӯи субстрат тавассути гардиш ё ларзиш таъмин мекунад.
СОХТМОН: Одатан, тазиқи танзимшаванда ва механизмҳои гардишкунанда/ҷубронкунандаро барои ҷойгир кардани субстратҳои шакл ва андозаҳои гуногун дар бар мегирад.
Системаи таъминоти барқ ва назорати:
Функсия: Манбаи бухоршавӣ, манбаи пошидан ва дигар таҷҳизотро бо нерӯи барқ таъмин мекунад ва параметрҳои раванди умумии пӯшишро ба монанди ҳарорат, вакуум ва вақт назорат мекунад.
Компонентҳо: Таъмини барқ, панелҳои идоракунӣ, системаҳои идоракунии компютерӣ ва сенсорҳои мониторингро дар бар мегирад.
Системаи таъминоти газ (барои таҷҳизоти пошидани пошидани):
Вазифа: Газҳои инертӣ (масалан, аргон) ё газҳои реактивиро (масалан, оксиген, нитроген) барои нигоҳ доштани плазма ё иштирок дар реаксияи кимиёвӣ барои тавлиди филми тунуки мушаххас таъмин мекунад.
Қисмҳо: Баллонҳои газ, контроллерҳои ҷараён ва қубурҳои интиқоли газро дар бар мегирад.
Системаи хунуккунӣ:
Функсия: манбаи бухоршавӣ, манбаи пошидан ва камераи вакуумро хунук мекунад, то аз ҳад зиёд гармшавиро пешгирӣ кунад.
Намудҳо: системаҳои хунуккунии об ва системаҳои хунуккунии ҳаво ва ғ.
Системаи мониторинг ва ошкоркунӣ:
Функсия: Мониторинги воқеии параметрҳои калидӣ дар раванди пӯшиш, ба монанди ғафсии филм, суръати таҳшин, вакуум ва ҳарорат, барои таъмини сифати пӯшиш.
Намудҳо: аз ҷумла микробалансҳои булӯри кварц, монитори ғафсии оптикӣ ва анализатори гази боқимонда ва ғайра.
Таҷҳизоти муҳофизатӣ:
Функсия: Амнияти операторҳо ва таҷҳизотро аз хатарҳое, ки дар натиҷаи ҳарорати баланд, шиддати баланд ё муҳити вакуумӣ ба вуҷуд меоянд, таъмин мекунад.
Компонентҳо: посбонҳо, тугмаҳои қатъи фавқулодда ва қулфҳои бехатарӣ ва ғайраро дар бар мегирад.
Ҷамъбаст кунед.
Таҷҳизоти пӯшиши вакуумӣ тавассути кори синергетикии ин ҷузъҳо раванди гузоштани филмҳои тунуки баландсифатро амалӣ мекунад. Ин мошинхо дар тайёр кардани плёнкахои тунуки оптикй, электронй, ороишй ва функсиона-лй роли калон мебозанд.
-Ин мақоларо нашр кардаастистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашакГуандун Чжэнхуа
Вақти фиристодан: июл-23-2024