డైరెక్ట్ అయాన్ బీమ్ డిపాజిషన్ అనేది ఒక రకమైన అయాన్ బీమ్ అసిస్టెడ్ డిపాజిషన్. డైరెక్ట్ అయాన్ బీమ్ డిపాజిషన్ అనేది ద్రవ్యరాశి-వేరు చేయని అయాన్ బీమ్ డిపాజిషన్. ఈ టెక్నిక్ మొదట 1971లో వజ్రం లాంటి కార్బన్ ఫిల్మ్లను ఉత్పత్తి చేయడానికి ఉపయోగించబడింది, అయాన్ మూలం యొక్క కాథోడ్ మరియు ఆనోడ్ యొక్క ప్రధాన భాగం కార్బన్తో తయారు చేయబడిందనే సూత్రం ఆధారంగా.
సెన్సిబుల్ వాయువును డిశ్చార్జ్ చాంబర్లోకి తీసుకువెళతారు మరియు తక్కువ పీడన పరిస్థితులలో ప్లాస్మా ఉత్సర్గాన్ని కలిగించడానికి బాహ్య అయస్కాంత క్షేత్రాన్ని జోడిస్తారు, ఇది కార్బన్ అయాన్లను ఉత్పత్తి చేయడానికి ఎలక్ట్రోడ్లపై అయాన్ల స్పట్టరింగ్ ప్రభావంపై ఆధారపడి ఉంటుంది. ప్లాస్మాలోని కార్బన్ అయాన్లు మరియు దట్టమైన అయాన్లను ఒకే సమయంలో నిక్షేపణ గదిలోకి ప్రేరేపించారు మరియు ఉపరితలంపై ప్రతికూల బయాస్ పీడనం కారణంగా వాటిని సబ్స్ట్రేట్పైకి ఇంజెక్ట్ చేయడానికి వేగవంతం చేశారు.
పరీక్ష ఫలితాలు 50~100eV శక్తి కలిగిన కార్బన్ అయాన్లుగదిపారదర్శక వజ్రం లాంటి కార్బన్ ఫిల్మ్ తయారీపై Si, NaCI, KCI, Ni మరియు ఇతర ఉపరితలాలలో ఉష్ణోగ్రత, 10Q-cm వరకు అధిక నిరోధకత, సుమారు 2 వక్రీభవన సూచిక, అకర్బన మరియు సేంద్రీయ ఆమ్లాలలో కరగనివి, చాలా ఎక్కువ కాఠిన్యాన్ని కలిగి ఉంటాయి.
——ఈ వ్యాసం ప్రచురించినదివాక్యూమ్ కోటింగ్ యంత్ర తయారీదారుగ్వాంగ్డాంగ్ జెన్హువా
పోస్ట్ సమయం: ఆగస్టు-31-2023