వాక్యూమ్ పూత పరికరాల భాగాలు

వాక్యూమ్ పూత పరికరాలు సాధారణంగా అనేక కీలక భాగాలతో కూడి ఉంటాయి, ప్రతి ఒక్కటి దాని స్వంత నిర్దిష్ట పనితీరును కలిగి ఉంటాయి, ఇవి సమర్థవంతమైన, ఏకరీతి ఫిల్మ్ నిక్షేపణను సాధించడానికి కలిసి పనిచేస్తాయి. ప్రధాన భాగాలు మరియు వాటి విధుల వివరణ క్రింద ఉంది:

ప్రధాన భాగాలు
వాక్యూమ్ చాంబర్:
ఫంక్షన్: బాష్పీభవనం లేదా చిమ్ముతున్నప్పుడు పూత పదార్థం గాలిలో ఉండే మలినాలతో చర్య జరపకుండా నిరోధించడానికి తక్కువ పీడనం లేదా అధిక-వాక్యూమ్ వాతావరణాన్ని అందిస్తుంది, ఇది ఫిల్మ్ యొక్క స్వచ్ఛత మరియు నాణ్యతను నిర్ధారిస్తుంది.
నిర్మాణం: సాధారణంగా అధిక బలం కలిగిన స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ లేదా అల్యూమినియంతో తయారు చేయబడిన ఈ అంతర్గత డిజైన్ వాయు ప్రవాహ పంపిణీ మరియు ఉపరితల ప్లేస్‌మెంట్ సౌలభ్యాన్ని పరిగణనలోకి తీసుకుంటుంది.
వాక్యూమ్ పంప్ వ్యవస్థ:
ఫంక్షన్: అవసరమైన వాక్యూమ్ స్థాయిని సాధించడానికి వాక్యూమ్ చాంబర్ లోపల వాయువును బయటకు పంప్ చేయడానికి ఉపయోగిస్తారు.
రకాలు: మెకానికల్ పంపులు (ఉదా. రోటరీ వేన్ పంపులు), టర్బోమోలిక్యులర్ పంపులు, డిఫ్యూజన్ పంపులు మరియు అయాన్ పంపులతో సహా.
బాష్పీభవన మూలం లేదా చిమ్మే మూలం:
ఫంక్షన్: పూత పదార్థాన్ని వేడి చేసి ఆవిరి చేసి శూన్యంలో ఆవిరి లేదా ప్లాస్మాను ఏర్పరుస్తుంది.
రకాలు: రెసిస్టెన్స్ హీటింగ్ సోర్స్, ఎలక్ట్రాన్ బీమ్ బాష్పీభవన మూలం, మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్ సోర్స్ మరియు లేజర్ బాష్పీభవన మూలం మొదలైనవి.
సబ్‌స్ట్రేట్ హోల్డర్ మరియు భ్రమణ యంత్రాంగం:
ఫంక్షన్: సబ్‌స్ట్రేట్‌ను పట్టుకుని, భ్రమణం లేదా డోలనం ద్వారా సబ్‌స్ట్రేట్ ఉపరితలంపై పూత పదార్థం ఏకరీతిగా నిక్షేపించబడుతుందని నిర్ధారిస్తుంది.
నిర్మాణం: సాధారణంగా వివిధ ఆకారాలు మరియు పరిమాణాల ఉపరితలాలను ఉంచడానికి సర్దుబాటు చేయగల క్లాంప్‌లు మరియు తిరిగే/డోలనం చేసే విధానాలను కలిగి ఉంటుంది.
విద్యుత్ సరఫరా మరియు నియంత్రణ వ్యవస్థ:
ఫంక్షన్: బాష్పీభవన మూలం, స్పట్టరింగ్ మూలం మరియు ఇతర పరికరాలకు శక్తిని అందిస్తుంది మరియు ఉష్ణోగ్రత, వాక్యూమ్ మరియు సమయం వంటి మొత్తం పూత ప్రక్రియ యొక్క పారామితులను నియంత్రిస్తుంది.
భాగాలు: విద్యుత్ సరఫరాలు, నియంత్రణ ప్యానెల్‌లు, కంప్యూటరీకరించిన నియంత్రణ వ్యవస్థలు మరియు పర్యవేక్షణ సెన్సార్‌లను కలిగి ఉంటుంది.
గ్యాస్ సరఫరా వ్యవస్థ (స్కట్టర్ పూత పరికరాల కోసం):
ఫంక్షన్: ప్లాస్మాను నిర్వహించడానికి లేదా ఒక నిర్దిష్ట సన్నని పొరను ఉత్పత్తి చేయడానికి రసాయన ప్రతిచర్యలో పాల్గొనడానికి జడ వాయువులను (ఉదా. ఆర్గాన్) లేదా రియాక్టివ్ వాయువులను (ఉదా. ఆక్సిజన్, నైట్రోజన్) సరఫరా చేస్తుంది.
భాగాలు: గ్యాస్ సిలిండర్లు, ఫ్లో కంట్రోలర్లు మరియు గ్యాస్ డెలివరీ పైపింగ్‌లను కలిగి ఉంటుంది.
శీతలీకరణ వ్యవస్థ:
ఫంక్షన్: వేడెక్కకుండా నిరోధించడానికి బాష్పీభవన మూలం, స్పట్టరింగ్ మూలం మరియు వాక్యూమ్ చాంబర్‌ను చల్లబరుస్తుంది.
రకాలు: నీటి శీతలీకరణ వ్యవస్థలు మరియు గాలి శీతలీకరణ వ్యవస్థలు మొదలైనవి.
పర్యవేక్షణ మరియు గుర్తింపు వ్యవస్థ:
ఫంక్షన్: పూత నాణ్యతను నిర్ధారించడానికి పూత ప్రక్రియలోని కీలక పారామితులైన ఫిల్మ్ మందం, నిక్షేపణ రేటు, వాక్యూమ్ మరియు ఉష్ణోగ్రత యొక్క నిజ-సమయ పర్యవేక్షణ.
రకాలు: క్వార్ట్జ్ క్రిస్టల్ మైక్రోబ్యాలెన్స్, ఆప్టికల్ మందం మానిటర్ మరియు అవశేష వాయువు విశ్లేషణకారి మొదలైనవి.
రక్షణ పరికరాలు:
ఫంక్షన్: అధిక ఉష్ణోగ్రతలు, అధిక వోల్టేజీలు లేదా వాక్యూమ్ వాతావరణాల వల్ల కలిగే ప్రమాదాల నుండి ఆపరేటర్లు మరియు పరికరాల భద్రతను నిర్ధారిస్తుంది.
భాగాలు: గార్డులు, అత్యవసర స్టాప్ బటన్లు మరియు భద్రతా ఇంటర్‌లాక్‌లు మొదలైనవి ఉంటాయి.
సంగ్రహించండి.
వాక్యూమ్ పూత పరికరాలు ఈ భాగాల సినర్జిస్టిక్ పని ద్వారా అధిక-నాణ్యత సన్నని ఫిల్మ్‌లను డిపాజిట్ చేసే ప్రక్రియను గ్రహిస్తాయి. ఈ యంత్రాలు ఆప్టికల్, ఎలక్ట్రానిక్, అలంకార మరియు క్రియాత్మక సన్నని ఫిల్మ్‌ల తయారీలో కీలక పాత్ర పోషిస్తాయి.

–ఈ వ్యాసం ప్రచురించినదివాక్యూమ్ కోటింగ్ యంత్ర తయారీదారుగ్వాంగ్‌డాంగ్ జెన్‌హువా