பெரும்பாலான வேதியியல் தனிமங்களை வேதியியல் குழுக்களுடன் இணைப்பதன் மூலம் ஆவியாக்கலாம், எ.கா. Si, H உடன் வினைபுரிந்து SiH4 ஐ உருவாக்குகிறது, மேலும் Al, CH3 உடன் இணைந்து Al(CH3) ஐ உருவாக்குகிறது. வெப்ப CVD செயல்பாட்டில், மேலே உள்ள வாயுக்கள் சூடான அடி மூலக்கூறு வழியாகச் செல்லும்போது ஒரு குறிப்பிட்ட அளவு வெப்ப ஆற்றலை உறிஞ்சி, CH3 மற்றும் AL(CH3)2 போன்ற வினைத்திறன் குழுக்களை உருவாக்குகின்றன. பின்னர் அவை ஒன்றோடொன்று இணைந்து வினைத்திறன் குழுக்களை உருவாக்குகின்றன, பின்னர் அவை அடி மூலக்கூறில் வைக்கப்படுகின்றன. பின்னர், அவை ஒன்றோடொன்று இணைந்து மெல்லிய படலங்களாக வைக்கப்படுகின்றன. PECVD விஷயத்தில், பிளாஸ்மாவில் உள்ள எலக்ட்ரான்கள், ஆற்றல்மிக்க துகள்கள் மற்றும் வாயு-கட்ட மூலக்கூறுகளின் மோதல் இந்த வினைத்திறன் வேதியியல் குழுக்களை உருவாக்கத் தேவையான செயல்படுத்தும் ஆற்றலை வழங்குகிறது.
PECVD இன் நன்மைகள் முக்கியமாக பின்வரும் அம்சங்களில் உள்ளன:
(1) வழக்கமான வேதியியல் நீராவி படிவுடன் ஒப்பிடும்போது குறைந்த செயல்முறை வெப்பநிலை, இது முக்கியமாக வழக்கமான வெப்பமாக்கல் செயல்படுத்தலுக்குப் பதிலாக எதிர்வினை துகள்களின் பிளாஸ்மா செயல்படுத்தல் காரணமாகும்;
(2) வழக்கமான CVD போலவே, பட அடுக்கின் நல்ல சுற்று-முலாம்;
(3) பட அடுக்கின் கலவையை பெரிய அளவில் தன்னிச்சையாகக் கட்டுப்படுத்தலாம், இதனால் பல அடுக்கு படலங்களைப் பெறுவது எளிதாகிறது;
(4) பட அழுத்தத்தை உயர்/குறைந்த அதிர்வெண் கலவை தொழில்நுட்பத்தால் கட்டுப்படுத்தலாம்.
–இந்தக் கட்டுரையை வெளியிட்டதுவெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா
இடுகை நேரம்: ஏப்ரல்-18-2024