வெற்றிட பூச்சு பற்றிய ஓர் அறிமுகம்

ஏன் வெற்றிட உறிஞ்சியைப் பயன்படுத்த வேண்டும்?
மாசுபடுவதைத் தடுத்தல்: வெற்றிடத்தில் காற்று மற்றும் பிற வாயுக்கள் இல்லாததால், படியவைக்கப்படும் பொருளானது வளிமண்டல வாயுக்களுடன் வினைபுரிந்து படலத்தை மாசுபடுத்துவதைத் தடுக்கிறது.
மேம்பட்ட ஒட்டுதல்: காற்று இல்லாததால், பிணைப்பை பலவீனப்படுத்தக்கூடிய காற்றுப் பைகள் அல்லது பிற இடைநிலை வாயுக்கள் இல்லாமல், படலம் நேரடியாக அடி மூலக்கூறுடன் ஒட்டிக்கொள்கிறது.
படலத்தின் தரம்: வெற்றிடச் சூழல்கள், படலம் படியும் செயல்முறையைச் சிறப்பாகக் கட்டுப்படுத்த உதவுவதால், மிகவும் சீரான மற்றும் உயர்தரமான படலங்கள் உருவாகின்றன.
குறைந்த வெப்பநிலைப் படிவு: சில பொருட்கள், வளிமண்டல வாயுக்களுக்கு வெளிப்படும்போது, ​​படிவதற்குத் தேவையான வெப்பநிலைகளில் சிதைந்துவிடும் அல்லது வினைபுரிந்துவிடும். வெற்றிடத்தில், இந்தப் பொருட்களைக் குறைந்த வெப்பநிலையிலேயே படியவைக்க முடியும்.
வெற்றிட பூச்சு செயல்முறைகளின் வகைகள்
இயற்பியல் ஆவிப் படிவு (PVD)
வெப்ப ஆவியாதல்: ஒரு பொருள் வெற்றிடத்தில் ஆவியாகும் வரை சூடுபடுத்தப்பட்டு, பின்னர் அடித்தளத்தின் மீது ஒடுங்குகிறது.
சிதறல்: உயர் ஆற்றல் அயனிக் கற்றை ஒன்று ஒரு இலக்குப் பொருளின் மீது மோதுவதால், அணுக்கள் வெளியேற்றப்பட்டு அடி மூலக்கூறின் மீது படிய வைக்கப்படுகின்றன.
துடிப்புள்ள லேசர் படிவு (PLD): அதிக சக்தி வாய்ந்த லேசர் கற்றையைப் பயன்படுத்தி, ஒரு இலக்கிலிருந்து பொருள் ஆவியாக்கப்பட்டு, பின்னர் அது அடித்தளத்தின் மீது ஒடுங்குகிறது.
இரசாயன ஆவிப் படிவு (CVD)
குறைந்த அழுத்த CVD (LPCVD): வெப்பநிலையைக் குறைக்கவும், படச்சுருளின் தரத்தை மேம்படுத்தவும் குறைக்கப்பட்ட அழுத்தத்தில் செய்யப்படுகிறது.
பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட CVD (PECVD): பாரம்பரிய CVD முறையை விடக் குறைந்த வெப்பநிலையில் வேதி வினைகளைச் செயல்படுத்த பிளாஸ்மாவைப் பயன்படுத்துகிறது.
அணு அடுக்கு படிவு (ALD)
ALD என்பது ஒரு வகையான CVD முறையாகும், இது படலங்களை ஒரு நேரத்தில் ஒரு அணு அடுக்காகப் படியவைத்து, படலத்தின் தடிமன் மற்றும் கலவையின் மீது சிறந்த கட்டுப்பாட்டை வழங்குகிறது.

வெற்றிடப் பூச்சு முறையில் பயன்படுத்தப்படும் உபகரணங்கள்
வெற்றிட அறை: பூச்சு செயல்முறை நடைபெறும் முக்கிய கூறு.
வெற்றிடப் பம்புகள்: வெற்றிடச் சூழலை உருவாக்கவும் பராமரிக்கவும் பயன்படுகின்றன.
அடி மூலக்கூறு தாங்கி: பூச்சுப் பணியின் போது அடி மூலக்கூறை நிலையாகப் பிடித்து வைப்பதற்காக.
ஆவியாதல் அல்லது சிதறடிப்பு மூலங்கள்: பயன்படுத்தப்படும் PVD முறையைப் பொறுத்து.
மின்வழங்கிகள்: ஆவியாதல் மூலங்களுக்கு ஆற்றலை அளிப்பதற்கோ அல்லது PECVD-இல் பிளாஸ்மாவை உருவாக்குவதற்கோ.
வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு அமைப்புகள்: மூலப்பொருட்களைச் சூடாக்குவதற்கோ அல்லது செயல்முறை வெப்பநிலையைக் கட்டுப்படுத்துவதற்கோ பயன்படுபவை.
கண்காணிப்பு அமைப்புகள்: படியவைக்கப்பட்ட படலத்தின் தடிமன், சீரான தன்மை மற்றும் பிற பண்புகளை அளவிடுவதற்கு.
வெற்றிடப் பூச்சின் பயன்பாடுகள்
ஒளியியல் பூச்சுகள்: வில்லைகள், கண்ணாடிகள் மற்றும் பிற ஒளியியல் கூறுகளின் மீது பூசப்படும் எதிரொளிப்புத் தடுப்பு, எதிரொளிப்பு அல்லது வடிகட்டிப் பூச்சுகளுக்காக.
அலங்காரப் பூச்சுகள்: நகைகள், கைக்கடிகாரங்கள், வாகன உதிரிபாகங்கள் உள்ளிட்ட பலதரப்பட்ட பொருட்களுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
கடினப் பூச்சுகள்: வெட்டும் கருவிகள், இயந்திர பாகங்கள் மற்றும் மருத்துவ சாதனங்களில் தேய்மானத் தடுப்புத் திறனையும் நீடித்துழைக்கும் தன்மையையும் மேம்படுத்துவதற்காக.
தடுப்புப் பூச்சுகள்: உலோகம், பிளாஸ்டிக் அல்லது கண்ணாடி போன்ற பரப்புகளில் அரிப்பு அல்லது ஊடுருவலைத் தடுக்க.
மின்னணுப் பூச்சுகள்: ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்றுகள், சூரிய மின்கலங்கள் மற்றும் பிற மின்னணு சாதனங்களின் உற்பத்திக்கு.
வெற்றிட பூச்சின் நன்மைகள்
துல்லியம்: வெற்றிடப் பூச்சு முறையானது, படலத்தின் தடிமன் மற்றும் கலவையின் மீது துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை வழங்குகிறது.
சீரான தன்மை: சிக்கலான வடிவங்கள் மற்றும் பெரிய பரப்புகளில் படலங்களைச் சீராகப் படியவைக்க முடியும்.
செயல்திறன்: இந்தச் செயல்முறையை அதிக அளவில் தானியக்கமாக்க முடியும், மேலும் இது அதிக அளவிலான உற்பத்திக்கு ஏற்றது.
சுற்றுச்சூழல் நேசம்: மற்ற பூச்சு முறைகளுடன் ஒப்பிடுகையில், வெற்றிடப் பூச்சு முறையில் பொதுவாகக் குறைவான இரசாயனங்களே பயன்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் குறைவான கழிவுகளே உருவாகின்றன.

–இந்தக் கட்டுரை வெளியிடப்பட்டதுவெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா