வெற்றிட பூச்சு உபகரணங்கள் பொதுவாக பல முக்கிய கூறுகளைக் கொண்டவை, ஒவ்வொன்றும் அதன் சொந்த குறிப்பிட்ட செயல்பாட்டைக் கொண்டுள்ளன, அவை திறமையான, சீரான படலப் படிவை அடைய இணைந்து செயல்படுகின்றன. முக்கிய கூறுகள் மற்றும் அவற்றின் செயல்பாடுகளின் விளக்கம் கீழே உள்ளது:

முக்கிய கூறுகள்
வெற்றிட அறை:
செயல்பாடு: ஆவியாதல் அல்லது தெளித்தல் போது பூச்சுப் பொருள் காற்றில் பரவும் அசுத்தங்களுடன் வினைபுரிவதைத் தடுக்க குறைந்த அழுத்தம் அல்லது அதிக வெற்றிட சூழலை வழங்குகிறது, இது படத்தின் தூய்மை மற்றும் தரத்தை உறுதி செய்கிறது.
அமைப்பு: பொதுவாக அதிக வலிமை கொண்ட, துருப்பிடிக்காத எஃகு அல்லது அலுமினியத்தால் ஆனது, உள் வடிவமைப்பு காற்றோட்ட விநியோகம் மற்றும் அடி மூலக்கூறு இடத்தின் எளிமையை கணக்கில் எடுத்துக்கொள்கிறது.
வெற்றிட பம்ப் அமைப்பு:
செயல்பாடு: தேவையான வெற்றிட அளவை அடைய வெற்றிட அறைக்குள் உள்ள வாயுவை வெளியேற்ற பயன்படுகிறது.
வகைகள்: இயந்திர விசையியக்கக் குழாய்கள் (எ.கா. சுழலும் வேன் விசையியக்கக் குழாய்கள்), டர்போமாலிகுலர் விசையியக்கக் குழாய்கள், பரவல் விசையியக்கக் குழாய்கள் மற்றும் அயன் விசையியக்கக் குழாய்கள் உட்பட.
ஆவியாதல் மூலம் அல்லது தெளிப்பு மூலம்:
செயல்பாடு: பூச்சுப் பொருளை வெப்பப்படுத்தி ஆவியாக்கி வெற்றிடத்தில் நீராவி அல்லது பிளாஸ்மாவை உருவாக்குகிறது.
வகைகள்: எதிர்ப்பு வெப்பமூட்டும் மூலம், எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாதல் மூலம், மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் மூலம் மற்றும் லேசர் ஆவியாதல் மூலம், முதலியன உட்பட.
அடி மூலக்கூறு வைத்திருப்பவர் மற்றும் சுழலும் வழிமுறை:
செயல்பாடு: அடி மூலக்கூறைப் பிடித்து, சுழற்சி அல்லது அலைவு மூலம் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் பூச்சுப் பொருள் சீரான படிவை உறுதி செய்கிறது.
கட்டுமானம்: பொதுவாக வெவ்வேறு வடிவங்கள் மற்றும் அளவுகளின் அடி மூலக்கூறுகளுக்கு இடமளிக்க சரிசெய்யக்கூடிய கிளாம்ப்கள் மற்றும் சுழலும்/ஊசலாடும் வழிமுறைகள் அடங்கும்.
மின்சாரம் மற்றும் கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு:
செயல்பாடு: ஆவியாதல் மூல, தெளிப்பு மூல மற்றும் பிற உபகரணங்களுக்கு சக்தியை வழங்குகிறது, மேலும் வெப்பநிலை, வெற்றிடம் மற்றும் நேரம் போன்ற ஒட்டுமொத்த பூச்சு செயல்முறையின் அளவுருக்களைக் கட்டுப்படுத்துகிறது.
கூறுகள்: மின்சாரம் வழங்கும் சாதனங்கள், கட்டுப்பாட்டு பலகைகள், கணினிமயமாக்கப்பட்ட கட்டுப்பாட்டு அமைப்புகள் மற்றும் கண்காணிப்பு உணரிகள் ஆகியவை அடங்கும்.
எரிவாயு விநியோக அமைப்பு (ஸ்பட்டர் பூச்சு உபகரணங்களுக்கு):
செயல்பாடு: பிளாஸ்மாவை பராமரிக்க அல்லது ஒரு குறிப்பிட்ட மெல்லிய படலத்தை உருவாக்க ஒரு வேதியியல் வினையில் பங்கேற்க மந்த வாயுக்கள் (எ.கா. ஆர்கான்) அல்லது வினைபுரியும் வாயுக்களை (எ.கா. ஆக்ஸிஜன், நைட்ரஜன்) வழங்குகிறது.
கூறுகள்: எரிவாயு சிலிண்டர்கள், ஓட்டக் கட்டுப்படுத்திகள் மற்றும் எரிவாயு விநியோக குழாய்கள் ஆகியவை அடங்கும்.
குளிரூட்டும் அமைப்பு:
செயல்பாடு: அதிக வெப்பமடைவதைத் தடுக்க ஆவியாதல் மூலத்தையும், தெளிக்கும் மூலத்தையும், வெற்றிட அறையையும் குளிர்விக்கிறது.
வகைகள்: நீர் குளிரூட்டும் அமைப்புகள் மற்றும் காற்று குளிரூட்டும் அமைப்புகள் போன்றவை அடங்கும்.
கண்காணிப்பு மற்றும் கண்டறிதல் அமைப்பு:
செயல்பாடு: பூச்சு தரத்தை உறுதி செய்வதற்காக, பூச்சு செயல்பாட்டில் உள்ள முக்கிய அளவுருக்களான படலத்தின் தடிமன், படிவு வீதம், வெற்றிடம் மற்றும் வெப்பநிலை ஆகியவற்றை நிகழ்நேரக் கண்காணித்தல்.
வகைகள்: குவார்ட்ஸ் படிக நுண் சமநிலை, ஒளியியல் தடிமன் மானிட்டர் மற்றும் எஞ்சிய வாயு பகுப்பாய்வி போன்றவை அடங்கும்.
பாதுகாப்பு சாதனங்கள்:
செயல்பாடு: அதிக வெப்பநிலை, அதிக மின்னழுத்தம் அல்லது வெற்றிட சூழல்களால் ஏற்படும் ஆபத்துகளிலிருந்து ஆபரேட்டர்கள் மற்றும் உபகரணங்களின் பாதுகாப்பை உறுதி செய்கிறது.
கூறுகள்: காவலர்கள், அவசர நிறுத்த பொத்தான்கள் மற்றும் பாதுகாப்பு இடைப்பூட்டுகள் போன்றவற்றை உள்ளடக்கியது.
சுருக்கமாகக் கூறுங்கள்.
வெற்றிட பூச்சு உபகரணங்கள் இந்த கூறுகளின் ஒருங்கிணைந்த வேலை மூலம் உயர்தர மெல்லிய படலங்களை வைப்பு செய்யும் செயல்முறையை உணர்கின்றன. இந்த இயந்திரங்கள் ஒளியியல், மின்னணு, அலங்கார மற்றும் செயல்பாட்டு மெல்லிய படலங்களை தயாரிப்பதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன.
–இந்தக் கட்டுரையை வெளியிட்டதுவெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா
இடுகை நேரம்: ஜூலை-23-2024
