Vipengele vya vifaa vya mipako ya utupu

Vifaa vya kupaka utupu kwa kawaida huundwa na vipengee kadhaa muhimu, kila kimoja kikiwa na kazi yake mahususi, vinavyofanya kazi kwa pamoja ili kufikia utuaji wa filamu unaofaa na sare. Ifuatayo ni maelezo ya vipengele kuu na kazi zao:

Vipengele Kuu
Chumba cha utupu:
Kazi: Hutoa mazingira ya shinikizo la chini au utupu wa juu ili kuzuia nyenzo za mipako kutokana na kuathiriwa na uchafu wa hewa wakati wa uvukizi au kumwagika, kuhakikisha usafi na ubora wa filamu.
Muundo: Kawaida hutengenezwa kwa nguvu ya juu, chuma cha pua au alumini, muundo wa ndani huzingatia usambazaji wa mtiririko wa hewa na urahisi wa uwekaji wa substrate.
Mfumo wa pampu ya utupu:
Kazi: Inatumika kusukuma gesi ndani ya chumba cha utupu ili kufikia kiwango cha utupu kinachohitajika.
Aina: Ikiwa ni pamoja na pampu za mitambo (km pampu za rotary Vane), pampu za turbomolecular, pampu za uenezi na pampu za ioni.
Chanzo cha uvukizi au chanzo cha kumwagika:
Kazi: hupasha joto na kuyeyusha nyenzo za mipako ili kuunda mvuke au plasma katika utupu.
Aina: ikiwa ni pamoja na chanzo cha kupokanzwa upinzani, chanzo cha uvukizi wa boriti ya elektroni, chanzo cha kunyunyiza kwa sumaku na chanzo cha uvukizi wa leza, n.k.
Kishikilia substrate na utaratibu wa kuzungusha:
Kazi: Hushikilia substrate na kuhakikisha utuaji sare wa nyenzo ya mipako juu ya uso wa substrate kwa mzunguko au oscillation.
UJENZI: Kwa kawaida hujumuisha vibano vinavyoweza kurekebishwa na mifumo ya kuzungusha/kuzungusha ili kukidhi substrates za maumbo na ukubwa tofauti.
Mfumo wa usambazaji wa nguvu na udhibiti:
Kazi: Hutoa nguvu kwa chanzo cha uvukizi, chanzo cha kumwagika na vifaa vingine, na kudhibiti vigezo vya mchakato wa jumla wa mipako kama vile joto, utupu na wakati.
Vipengee: Inajumuisha vifaa vya nguvu, paneli za udhibiti, mifumo ya udhibiti wa kompyuta, na vitambuzi vya ufuatiliaji.
Mfumo wa Ugavi wa Gesi (kwa vifaa vya mipako ya sputter):
Kazi: Hutoa gesi ajizi (km, argon) au gesi tendaji (km, oksijeni, nitrojeni) ili kudumisha plasma au kushiriki katika mmenyuko wa kemikali ili kutoa filamu nyembamba.
Vipengele: Inajumuisha mitungi ya gesi, vidhibiti vya mtiririko na mabomba ya kusambaza gesi.
Mfumo wa kupoeza:
Kazi: hupoza chanzo cha uvukizi, chanzo cha kumwagika na chemba ya utupu ili kuzuia joto kupita kiasi.
Aina: ni pamoja na mifumo ya baridi ya maji na mifumo ya baridi ya hewa, nk.
Mfumo wa ufuatiliaji na utambuzi:
Kazi: Ufuatiliaji wa wakati halisi wa vigezo muhimu katika mchakato wa mipako, kama vile unene wa filamu, kiwango cha utuaji, utupu na joto, ili kuhakikisha ubora wa mipako.
Aina: ikiwa ni pamoja na mizani ndogo ya kioo cha quartz, kifuatilia unene wa macho na kichanganuzi cha mabaki ya gesi, nk.
Vifaa vya kinga:
Kazi: Inahakikisha usalama wa waendeshaji na vifaa kutokana na hatari zinazosababishwa na joto la juu, voltages ya juu au mazingira ya utupu.
Vipengele: Inajumuisha walinzi, vifungo vya kuacha dharura na miingiliano ya usalama, nk.
Fanya muhtasari.
Vifaa vya mipako ya utupu hutambua mchakato wa kuweka filamu nyembamba za ubora wa juu kupitia kazi ya synergistic ya vipengele hivi. Mashine hizi zina jukumu muhimu katika utayarishaji wa filamu za macho, elektroniki, mapambo na kazi.

- Nakala hii imetolewa namtengenezaji wa mashine ya mipako ya utupuGuangdong Zhenhua