Devakuumbeläggningsutrustningbestår av många precisionsdelar som tillverkas genom många processer, såsom svetsning, slipning, svarvning, hyvling, borrning, fräsning och så vidare. På grund av dessa arbeten kommer ytan på utrustningsdelarna oundvikligen att förorenas med vissa föroreningar såsom fett, olja, smuts, metallflisor, svetsflussmedel, polerpasta, svettmärken och så vidare. Dessa föroreningar förångas lätt under vakuumförhållanden, vilket påverkar utrustningens slutliga vakuum.
Dessutom absorberar dessa vakuumföroreningar från mekanisk bearbetning en stor mängd gas i atmosfärstrycksmiljön, och i vakuumtillståndet kommer dessa tidigare adsorberade gaser också att frigöras igen, vilket blir en viktig faktor som begränsar gränsvakuumet. Av denna anledning måste föroreningarna avlägsnas innan delarna av vakuumbeläggningsmaskinen monteras.
Under användning av vakuumutrustning kommer även dess komponenter att kontamineras. Föroreningarna från denna källa orsakas dock huvudsakligen av användningsförhållandena och vakuumpumpen.
1. Avdunstning av vakuummätarens tråd under höga temperaturförhållanden leder till att en film bildas på den keramiska isolatorn, vilket i viss mån skadar dess isoleringsstyrka och även har en viss inverkan på mätnoggrannheten.
2. På grund av högtemperaturavdunstning kommer en metallfilm att bildas på ytan nära elektronkanonens glödtråd i vakuum;
3. På grund av sputtering av arbetsstycket kommer innerväggen på jonstråleetsningsutrustningen att kontamineras av stänk;
4. Innerväggen på vakuumindunstningsbeläggningsutrustningen kommer att kontamineras av dess avdunstningsmålmaterial;
5. Vakuumtorkningssystem används ofta, och systemet kommer att kontamineras av de avdunstade ämnena;
6. Diffusionspumpoljan och den mekaniska pumpoljan i vakuumbeläggningsutrustningen är också en stor föroreningskälla. Efter att beläggningsmaskinen har varit i drift under en längre tid kan en oljefilm bildas inuti utrustningen.
Sammanfattningsvis innefattar vakuumsanering av utrustning vakuumutrustning, vakuumsystem, vakuumprocessproduktion och andra aspekter och kopplingar, såväl som kraven på själva vakuumbeläggningsutrustningen och speciella vakuumprocesser under användningsförhållandena. Därför är vakuumföroreningar ett problem som förtjänar uppmärksamhet, eftersom dessa föroreningar påverkar utrustningens prestanda, och uppmärksamhet bör ägnas åt regelbunden eller alltid rengörning.
Publiceringstid: 21 februari 2023