Parabot palapis vakum ilaharna diwangun ku sababaraha komponén konci, unggal mibanda fungsi husus sorangan, anu dianggo dina konsér pikeun ngahontal éfisién, déposisi pilem seragam. Di handap ieu pedaran komponén utama jeung fungsi maranéhanana:
Komponén utama
Kamar vakum:
Fungsi: Nyadiakeun lingkungan tekanan low atawa vakum tinggi pikeun nyegah bahan palapis ti ngaréaksikeun jeung pangotor airborne salila évaporasi atawa sputtering, mastikeun purity sarta kualitas pilem.
Struktur: Biasana dijieunna tina-kakuatan tinggi, stainless steel atawa aluminium, desain internal tumut kana akun distribution airflow jeung betah panempatan substrat.
Sistim pompa vakum:
Fungsi: Dipaké pikeun ngompa kaluar gas jero chamber vakum pikeun ngahontal tingkat vakum diperlukeun.
Jenis: Kaasup pompa mékanis (misalna pompa baling-baling puteran), pompa turbomolekul, pompa difusi sareng pompa ion.
Sumber évaporasi atawa sumber sputtering:
Fungsi: heats sarta evaporates bahan palapis pikeun ngabentuk uap atawa plasma dina vakum.
Jenis: kaasup sumber pemanasan lalawanan, sumber évaporasi sinar éléktron, sumber sputtering magnetron jeung sumber évaporasi laser, jsb.
Panyekel substrat sareng mékanisme puteran:
Fungsi: Nyepeng substrat sareng mastikeun déposisi seragam tina bahan palapis dina permukaan substrat ku rotasi atanapi osilasi.
BANGUNAN: Ilaharna ngawengku clamps adjustable sarta puteran / mékanisme osilasi pikeun nampung substrat tina wangun jeung ukuran béda.
Catu daya sareng sistem kontrol:
Fungsi: Nyadiakeun kakuatan ka sumber évaporasi, sumber sputtering jeung alat sejenna, tur kadalikeun parameter tina prosés palapis sakabéh kayaning hawa, vakum jeung waktu.
Komponén: Ngawengku catu daya, panél kontrol, sistem kontrol komputerisasi, sareng sénsor ngawaskeun.
Sistem Pasokan Gas (pikeun alat palapis sputter):
Fungsi: Nyadiakeun gas inert (misalna argon) atawa gas réaktif (misalna oksigén, nitrogén) pikeun ngajaga plasma atawa pikeun ilubiung dina réaksi kimiawi pikeun ngahasilkeun film ipis husus.
Komponén: Ngawengku tabung gas, pangendali aliran, sareng pipa pangiriman gas.
Sistim cooling:
Fungsi: cools sumber évaporasi, sputtering sumber na chamber vakum pikeun nyegah overheating.
Jenis: kalebet sistem penyejukan cai sareng sistem penyejukan hawa, jsb.
Sistem pangimeutan sareng deteksi:
Fungsi: Real-time ngawaskeun parameter konci dina prosés palapis, kayaning ketebalan pilem, laju déposisi, vakum sarta hawa, pikeun mastikeun kualitas palapis.
Jenis: kalebet kasaimbangan mikro kristal kuarsa, monitor ketebalan optik sareng analisa gas sésa, jsb.
Alat pelindung:
Fungsi: Mastikeun kasalametan operator sareng alat tina bahaya anu disababkeun ku suhu luhur, tegangan luhur atanapi lingkungan vakum.
Komponén: Ngawengku penjaga, tombol eureun darurat sareng interlocks kaamanan, jsb.
nyimpulkeun.
Parabot palapis vakum nyadar prosés depositing film ipis kualitas luhur ngaliwatan karya sinergis komponén ieu. Mesin ieu maénkeun peran penting dina nyiapkeun film ipis optik, éléktronik, dekoratif sareng fungsional.
– Tulisan ieu dikaluarkeun kuprodusén mesin palapis vakumGuangdong Zhenhua
waktos pos: Jul-23-2024