Kemiso ea Mouoane oa Lik'hemik'hale o Matlafalitsoeng oa Plasma Khaolo ea 2

Lintho tse ngata tsa lik'hemik'hale li ka fetoha mouoane ka ho li kopanya le lihlopha tsa lik'hemik'hale, mohlala, Si e arabela le H ho theha SiH4, 'me Al e kopana le CH3 ho etsa Al(CH3). Ts'ebetsong ea mocheso oa CVD, likhase tse ka holimo li nka matla a itseng a mocheso ha li ntse li feta ka har'a substrate e futhumetseng 'me li theha lihlopha tse sebetsang ka matla, tse kang CH3 le AL (CH3) 2, joalo-joalo Ka mor'a moo li kopana ho theha lihlopha tse sebetsang hantle, tse ntan'o behoa holim'a substrate. Ka mor'a moo, li kopana 'me li kenngoa e le lifilimi tse tšesaane. Tabeng ea PECVD, ho thulana ha li-elektronike, likaroloana tse matla le limolek'hule tsa khase ka plasma li fana ka matla a ts'ebetso a hlokahalang ho theha lihlopha tsena tsa lik'hemik'hale tse sebetsang.

Melemo ea PECVD e haholo-holo likarolong tse latelang:

(1) Mocheso o ka tlaase oa ts'ebetso ha o bapisoa le ho kenngoa ha mouoane oa lik'hemik'hale o tloaelehileng, oo haholo-holo ka lebaka la ts'ebetso ea plasma ea likaroloana tse sebetsang ho e-na le ts'ebetso e tloaelehileng ea ho futhumatsa;

(2) E ts'oanang le CVD e tloaelehileng, ho pota-pota ho pota-pota ho pota-pota ha lera la filimi;

(3) Sebopeho sa lera la filimi se ka laoloa ka mokhoa o ikemetseng ka tekanyo e kholo, ho etsa hore ho be bonolo ho fumana lifilimi tse ngata;

(4) Khatello ea lifilimi e ka laoloa ke theknoloji e phahameng / e tlaase ea ho kopanya maqhubu.

-Sengoliloeng sena se lokolloa kemoetsi oa mochine oa vacuum coatingGuangdong Zhenhua