Коефицијент температуре отпора металног филма варира са дебљином филма, танки филмови су негативни, дебели филмови су позитивни, а дебљи филмови су слични, али не и идентични материјалима у расутом стању. Генерално, коефицијент температуре отпора се мења од негативног до позитивног како се дебљина филма повећава на десетине нанометара.
Поред тога, брзина испаравања такође утиче на коефицијент отпорности металних филмова. Ниска брзина испаравања припремљеног слоја филма је лабава, електрони преко његове потенцијалне баријере и способност производње проводљивости су слаби, заједно са оксидацијом и адсорпцијом, тако да је вредност отпора висока, коефицијент температуре отпора је мали, или чак негативан. Са повећањем брзине испаравања, коефицијент температуре отпора се мало мења од великог до позитивног. То је због ниске брзине испаравања припремљеног филма због оксидације својстава полупроводника, а коефицијент температуре отпора има негативне вредности. Филмови припремљени са високом брзином испаравања обично имају метална својства и позитиван коефицијент температуре отпора.
Пошто се структура филма неповратно мења са температуром, отпор и температурни коефицијент отпора филма се такође мењају са температуром слоја премаза током испаравања, и што је филм тањи, то је промена драстичнија. Ово се може сматрати резултатом хемијских промена изазваних поновним испаравањем и прерасподелом честица приближне острвске или цевасте структуре филма на подлози, као и расејањем решетке, расејањем нечистоћа, расејањем дефеката решетке и оксидацијом.
–Овај чланак је објављен од странепроизводња машина за вакуумско премазивањер Гуангдонг Женхуа
Време објаве: 18. јануар 2024.