Inta badan canaasiirta kiimikaad waxa lagu soo ururiyaa kooxo kiimikaad ah, tusaale Si waxa ay ula falgashaa H si ay u sameeyaan SiH4, Al waxa ay ku darsataa CH3 si ay u sameeyaan Al(CH3). Habka CVD-da kulaylka, gaasaska kor ku xusan waxay nuugaan qaddar go'an oo tamar kulayl ah markay dhex maraan substrate kulaylka waxayna sameeyaan kooxo fal-celin ah, sida CH3 iyo AL (CH3) 2, iwm. Kadibna waxay isku daraan midba midka kale si ay u sameeyaan kooxaha falcelinta, kuwaas oo lagu dhejiyo substrate-ka. Ka dib, waxay isku daraan midba midka kale waxaana loo dhigaa sida filimo khafiif ah. Marka laga hadlayo PECVD, isku dhaca elektarooniga, qaybaha tamarta iyo molecules-gaas-wajiga ee balasmaha ayaa bixiya tamarta firfircoonida ee loo baahan yahay si loo sameeyo kooxahan kiimikaad ee falceliya.
Faa'iidooyinka PECVD waxay inta badan ku jiraan dhinacyada soo socda:
(1) heerkulka habka hoose marka loo eego kaydinta uumiga kiimikaad ee caadiga ah, taas oo inta badan ay sabab u tahay firfircoonida balaasmaha ee qaybaha falcelinta halkii ay ka ahayd firfircoonida kuleylka caadiga ah;
(2) La mid ah CVD-ga caadiga ah, oo si fiican u duuban lakabka filimka;
(3) Halabuurka lakabka filimka waxaa lagu xakameyn karaa si aan macquul ahayn ilaa xad, taas oo fududeyneysa helitaanka filimo badan;
(4) Cadaadiska filimka waxaa lagu xakameyn karaa tiknoolajiyada isku-dhafka sare / hooseeya.
–Maqaalkan waxa soo saaraysoo saaraha mashiinka daahan vacuumGuangdong Zhenhua
Waqtiga boostada: Abriil-18-2024