Fa'alumaina ole Vasa Vailaau Mata'utia Mataupu 2

O le tele o elemene kemikolo e mafai ona fa'avela e ala i le tu'ufa'atasia ma vaega kemikolo, fa'ata'ita'iga, e tali atu Si ma le H e maua ai le SiH4, ae fa'atasi le Al ma le CH3 e maua ai le Al(CH3). I le faʻagasologa o le CVD vevela, o kasa o loʻo i luga e faʻaaogaina se aofaiga o le malosi vevela ao latou pasia le mea faʻavevela ma faʻavae vaega faʻafefe, e pei o CH3 ma AL (CH3) 2, ma isi. Mulimuli ane, latou faʻatasi ma le tasi ma le isi ma teuina e pei o ni ata manifinifi. I le tulaga o le PECVD, o le faʻalavelaveina o electrons, vaega malosi ma mole mole o le kasa i totonu o le plasma e maua ai le malosi faʻaosoina e manaʻomia e fausia ai nei vaega kemikolo.

O le lelei o le PECVD e masani lava i vaega nei:

(1) Fa'aitiitia le vevela ole fa'agasologa pe a fa'atusatusa ile fa'aputuina o ausa vaila'au masani, lea e mafua ona o le fa'agaoioia o le plasma o vaega fa'a'agai'e nai lo le fa'agaioiina fa'avevela masani;

(2) E tutusa ma le CVD masani, lelei le afifiina o le ata tifaga;

(3) O le tuufaatasiga o le ata tifaga e mafai ona pulea faʻafuaseʻi i se tulaga tele, e faigofie ai ona maua ata tifaga tele;

(4) E mafai ona pulea le mamafa o ata tifaga e ala i tekinolosi faʻafefiloi maualuga / maualalo.

–O lenei tusiga ua tatalaina emasini fa'apipi'i gaogao gaosimeaGuangdong Zhenhua