O le tuusao o le ion beam o se ituaiga o ion beam assisted deposition. O le tuusa'o o le ion beam deposition o se mea e le o le tele-separated ion beam. O lenei metotia na faʻaaogaina muamua e gaosia ai ata tifaga e pei o taimane i le 1971, e faʻavae i luga o le faʻavae o le vaega autu o le cathode ma le anode o le puna ion e faia i le carbon.
O le kasa maaleale e taʻitaʻia i totonu o le potu faʻasalalau, ma faʻapipiʻiina se maneta fafo e mafua ai le faʻauluina o le plasma i lalo o tulaga maualalo o le mamafa, faʻalagolago i le aʻafiaga o le sputtering o ion i luga o le eletise e maua ai ion carbon. O ion carbon ma ion mafiafia i totonu o le plasma na fa'aosoina i totonu o le potu fa'aputu i le taimi lava e tasi, ma na fa'avaveina le tui i luga o le mea'ai ona o le fa'aituau le lelei o le mamafa i luga o le mea'ai.
O faʻaiʻuga o suʻega e faʻaalia ai o le carbon ions ma le malosi o le 50 ~ 100eV ipotuvevela, i Si, NaCI, KCI, Ni ma isi substrates i luga o le sauniuniga o manino taimane-pei carbon ata tifaga, resistivity maualuga e pei o 10Q-cm, faasinoupu refractive o e uiga i le 2, insoluble i inorganic ma organic acids, maua se maaa maualuga.
——O lenei mataupu ua tatalaina emasini fa'apipi'i gaogao gaosimeaGuangdong Zhenhua
Taimi meli: Aukuso-31-2023